Влияние концентрации кислорода в составе газовой плазмообразующей смеси на оптические и структурные свойства пленок нитрида алюминия
Лубянский Я.В.1, Бондарев А.Д.1, Сошников И.П.1,2,3, Берт Н.А.1, Золотарев В.В.1, Кириленко Д.А.1, Котляр К.П.2, Пихтин Н.А.1, Тарасов И.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт aналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: ipsosh.beam@mail.ioffe.ru
Выставление онлайн: 20 января 2018 г.
Проводятся исследования влияния содержания кислорода в плазмообразующей среде в процессах синтеза методом реактивного ионно-плазменного распыления на структуру и свойства пленок AlNO (оксинитридов алюминия). Измеренные показатели преломления синтезированных пленок AlNO находятся в диапазоне 1.76-2.035 и зависят от концентрации кислорода в плазмообразующей газовой смеси, а именно с увеличением доли кислорода показатель преломления уменьшается. Показано, что пленки AlN, синтезированные в плазме азота, имеют поликристаллическую текстурированную структуру. Повышение содержания кислорода приводит к образованию аморфной фазы. DOI: 10.21883/FTP.2018.02.45443.8685
- M.O.H.D. Al Rashdan, A.A. Hamzah, B.Y. Majlis, M.F. Aziz. IEEE Intern. Conf. on Semiconductor Electronics, ICSE 2014 (Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.) p. 72, p. 6920798 (2014)
- L. Zhou, X. Gao, Y. Wang, L. Xu, B. Jia, D. Bai, B. Bo. J. Lightwave Techn., 31 (13), 2279 (2013)
- P. Pobedinskas, J.C. Bolsee, W. Dexters, B. Ruttens, V. Mortet, J. D'Haen, K. Haenen. Thin Sol. Films, 522, 180 (2012)
- A. Jagoda, L. Dobrzanski, M. Modonek, S. Wrobel. J. Wide Bandgap Mater., 8 (3-4), 195 (2001)
- H. Van Bui, F.B. Wiggers, A. Gupta, M.D. Nguyen, A.A. Aarnink, M.P. de Jong, A.Y. Kovalgin. J. Vacuum Sci. \& Techn. A: Vacuum, Surfaces, and Films, 33 (1), 01A111 (2015)
- J. Liao, S.H. Liu, Y.T. Yu, Y. Lin, G. Jin, G. Huang, Z.Z. Fu. IEEE 2011 Intern. Symp. on Advanced Packaging Materials (APM 2011) p. 373
- А.Ф. Белянин, А.Ю. Илюшенкин. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 5, 35 (2005)
- M.E. Lin, B. Sverdlov, G.L. Zhou, H. Morko c. Appl. Phys. Lett., 62 (26), 3479 (1993)
- F. Semond, Y. Cordiez, N. Grandjeen, F. Natali, B. Demilano, S. Vezian. Phys. Status Solidi A, 188 (2), 501 (2001)
- P. Lu, R. Collazo, R.F. Dalmau, G. Durkaya, N. Dietz, B. Raghothamachar, M. Dudley, Z. Sitar. J. Cryst. Growth, 312 (1), 58 (2009)
- I. Bryan, A. Rice, L. Hussey, Z. Bryan, M. Bobea, S. Mita, J. Xie, R. Kirste, R. Collazo, Z. Sitar. Appl. Phys. Lett., 102 (6), 061602 (2013)
- Л.А. Акашев, Н.А. Попов, В.А. Кочедыков, В.Г. Шевченко. ПЖTФ, 39 (3), 26 (2013)
- А.В. Кириллин, А.В. Костановский, Л.А. Жиляков. Теплофизика высоких температур, 27 (6), 1185 (1989)
- Л.А. Жиляков, А.В. Костановский. Теплофизика высоких температур, 30 (2), 290 (1992). (High Temperature, 30 (2), 226 (1992) )
- Л.А. Жиляков, А.В. Костановский, А.В. Кириллин. Теплофизика высоких температур, 33 (1), 33 (1995). (High Temperature, 33 (1), 30 (1995))
- A. Stolz, A. Soltani, B. Abdallah, J. Charrier, D. Deresmes, P.-Y. Jouan, M.A. Djouadi, E. Dogheche, J.-C. De Jaeger. Thin Sol. Films, 534, 442 (2013)
- V. Brien, P. Pigeat. J. Cryst. Growth, 310 (16), 3890 (2008)
- V.V. Kirilenko, B.M. Zhigarnovskii, V.K. Pavlovskii, I.P. Markelova, A.V. Mikhailov, G.A. Muranova. J. Optical Techn., 75 (12), 800 (2008)
- P. Pobedinskas, J.-C. Bolsee, W. Dexters, B. Ruttens, V. Mortet, J. D'Haen, J.V. Manca, K. Haenen. Thin Sol. Films, 522, 180 (2012)
- И.П. Сошников, О.М. Горбенко, А.О. Голубок, Н.Н. Леденцов. ФТП, 35 (4), 361 (2001)
- А.В. Анкудинов, В.П. Евтихиев, В.Е. Токранов, В.П. Улин, А.Н. Титков. ФТП, 33 (5), 594 (1999)
- Н.А. Берт, А.Д. Бондарев, В.В. Золотарев, Д.А. Кириленко, Я.В. Лубянский, А.В. Лютецкий, С.О. Слипченко, А.Н. Петрунов, Н.А. Пихтин, К.Р. Аюшева, И.Н. Арсентьев, И.С. Тарасов. ФТП, 49 (10), 1429 (2015)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
