Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Формирование кристаллических слоев Cu2O и ZnO методом магнетронного распыления и их оптическая характеризация
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030028 
РФФИ, 15-08-06645-а
Агекян В.Ф.
1, Борисов Е.В.1, Гудовских А.С.
2,3, Кудряшов Д.А.
2, Монастыренко А.О.
2, Серов А.Ю.
1, Философов Н.Г.
1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия 
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: v.agekyan@spbu.ru, gudovskikh@spbau.ru, kudryashovda@spbau.ru, monas@spbau.ru, serovpobox@gmail.com, n.filosofov@spbu.ru
Поступила в редакцию: 5 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.
Методом магнетронного распыления сформированы пленки оксида меди (I) и оксида цинка толщиной в десятки и сотни нанометров на подложках из кремния и кварцевого стекла. Рост производился при различных температурах подложки и давлениях кислорода в рабочей камере. Образцы пленок исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии и оптическими методами. Установлено, что увеличение температуры подложки приводит к изменению морфологии поверхности пленок оксида меди (I) в сторону образования отчетливо выраженных кристаллитов. Спектры отражения и рамановского рассеяния свидетельствуют о том, что качество таких пленок близко к качеству объемных кристаллов Cu2O, полученных методом окисления меди. Что касается ZnO, то повышение температуры подложки и увеличение парциального давления кислорода позволяет получить пленки, в спектрах отражения которых наблюдается резкая экситонная структура, а в спектрах люминесценции - излучение экситонов, связанных на донорах. DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45629.8682
- K. Myny, B. Cobb, J.-L. van der Steen, A.K. Tripathi, J. Genoe, G. Gelinck, P. Heremans. 2015 IEEE Intern. Solid-State Circuits Conf. (ISSCC) Digest of Technical Papers, San Francisco, CA, 2015
- C.B.J. Semple, S. Rossbauer, K. Zhao, L.K. Jagadamma, A. Amassian, M.A. Mc Lachlan. Small, 12, 1993 (2016)
- N. Munzenrieder, G. Cantarella, C. Vogt, L. Petti, L. Buthe, G.A. Salvatore, Y. Fang, R. Andri, Y. Lam, R. Libanori, D. Widner, A.R. Studart, G. Troster. Adv. Electron. Mater., 1, 1400038 (2015)
- D.V. Sosnin, D.A. Kudryashov, S.A. Gudovskikh, K.S. Zelentsov. Techn. Phys. Lett., 41, 804 (2015)
- D. Kudryashov, A. Babichev, E. Nikitina, A. Gudovskikh, P. Kladko. J. Phys.: Conf. Ser., 643, 012013 (2015)
- L. Petti, N. Miinzenrieder, C. Vogt, H. Faber, L. Buthe, G. Cantarella, F. Bottacchi, T.D. Anthopoulos, G. Troster. Appl. Phys. Reviews, 3, 021303 (2016)
- Д.А. Кудряшов, А.С. Гудовских, А.В. Бабичев, А.В. Филимонов, А.М. Можаров, В.Ф. Агекян, Е.В. Борисов, А.Ю. Серов, Н.Г. Филосов. ФТП, 51, 111 (2017)
- M. Tadatsugu, N. Yuki, M. Toshihiro, N. Jun-ichi. Appl. Phys. Express, 4, 062301 (2011)
- A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S.F. Chichibu, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, M. Kawasaki. Nature Mater., 4, 42 (2005)
- T. Minami, T. Miyata, Y. Nishi. Solar Energy Mater. \& Solar Cells, 147, 93 (2016)
- N.M. Roshchina, P.S. Smertenko, V.G. Stepanov, L.V. Zavyalova, O.S. Lytvyn. Sol. St. Phenomena, 200, 3 (2013)
- H. Liu, R.B. Yang, S. Guo, J. Cory, N. Lee. J. Alloys Comp., 703, 225 (2017)
- A.E. Lapshin, V.S. Levitskii, V.I. Shapovalov, A.E. Komlev, E.S. Shutova, I.L. Myl'nikov, A.A. Komlev. Glass Phys. Chem., 42, 359 (2016)
- C. Zhao, X. Wu, P. Li, C. Zhao, X. Qian. Microchim. Acta, 184, 2341 (2017)
- Y. Bicer, G. Chehade, I. Dincer. Int. J. Hydrogen Energy, 42, 6490 (2017)
- Zh. Zhang, W. Hu, Y. Deng, Ch. Zhong, H. Wang, Y. Wu, Lei Liu. Mater. Res. Bulletin, 47, 2561 (2012)
- A. Compaan, H.Z. Cummins. Phys. Rev. B, 6, 4753 (1972)
- ф.И. Крейнгольд. Опт. и спектр., 30, 286 (1971)
- D.C. Reynolds, D.C. Look, B. Jogai, C.W. Litton, G. Cantwell, W.C. Harsch. Phys. Rev. B, 60, 2340 (1999)
- B.K. Meyer, H. Alves, D.M. Hofmann, W. Kriegseis, D. Forster, F. Bertram, J. Christen, A. Hoffmann, M. Strab burg, M. Dworzak, U. Haboeck, A.V. Rodina. Phys. Status Solidi B, 241, 231 (2004)
- J. Lagois. Phys. Rev. B, 23, 5511 (1981)
- R. Cusco, E. Alarcon-Llado, J. Ibanez, L. Artus, J. Jimenez, B. Wang, M.J. Callahan. Phys. Rev. B, 75, 165202 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
