Вышедшие номера
Влияние примеси бора на излучательные свойства дислокационных структур в кремнии, сформированных путем имплантации ионов Si+
Переводная версия: 10.1134/S1063782618070229
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-02-01070
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-32-50184
Министерство образования и науки Российской Федерации, 16.2737.2017/4.6
Совет по грантам Президента РФ, СП-1147.2018.3
Терещенко А.Н.1,2, Королев Д.С.2, Михайлов А.Н.2, Белов А.И.2, Никольская А.А.2, Павлов Д.А.2, Тетельбаум Д.И.2, Штейнман Э.А.1
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: tan@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 31 октября 2017 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.

Исследовано влияние имплантации бора на излучательные свойства дислокационных структур в кремнии, сформированных путем имплантации ионов Si+ с последующим отжигом. Показано, что имплантация ионов B+ существенным образом влияет как на интенсивность и состав спектра дислокационной люминесценции, так и на ход температурной зависимости интенсивности полосы D1. Обнаружено, что зависимость не является монотонной и имеет две области возрастания интенсивности полосы D1 с ростом температуры, образуя максимумы при 20 и 60-70 K на температурной зависимости. Максимум при 20 K связан с особенностями морфологии исследуемой дислокационной структуры, в то время как максимум при 60-70 K связан с дополнительной имплантацией примеси бора в дислокационную область образцов. Установлено, что интенсивности наблюдаемых максимумов, а также положение высокотемпературного максимума зависят от концентрации имплантированных ионов B+.