Диффузионное размытие квантовых ям GaAs, выращенных при низкой температуре
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-02-01168
Президиум РАН , Актуальные проблемы фотоники, зондирование неоднородных сред и материалов
Ушанов В.И.1, Чалдышев В.В.1, Преображенский В.В.2, Путято М.А.2, Семягин Б.Р.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: Decorus2009@mail.ru
Поступила в редакцию: 31 мая 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.
Методом фотолюминесцентной спектроскопии исследованы процессы диффузионного размытия периодической системы квантовых ям GaAs, разделенных барьерами AlGaAs, выращенной методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре (200oC) и дополнительно легированной изовалентными примесями Sb и P. Отжиг при температуре 750oC в течение 30 мин после роста приводил к увеличению энергии пика фотолюминесценции экситонного состояния e1-hh1 в квантовых ямах вследствие размытия эпитаксиальных интерфейсов GaAs/AlGaAs, вызванных усиленной взаимодиффузией атомов Al-Ga по катионной подрешетке. Для профиля концентрации Al в квантовых ямах, определяемого линейной диффузией, было решено уравнение Шредингера для электронов и дырок. Оказалось, что экспериментально наблюдаемое энергетическое положение пика фотолюминесценции соответствует длине взаимной диффузии Al-Ga 3.4 нм и эффективному коэффициенту диффузии 6.3· 10-17 см2/c для температуры 750oC. Полученное значение оказалось близким к значению для квантовых ям GaAs, выращенных при низкой температуре без дополнительного легирования примесями Sb и P. Полученные результаты позволяют сделать вывод о незначительном влиянии усиленной взаимодиффузии As-Sb и As-P в анионной подрешетке на процессы взаимодиффузии Al-Ga по катионной подрешетке.
- I. Lahiri, D.D. Nolte, M.R. Melloch, J.M. Woodall, W. Walukiewicz. Appl. Phys. Lett., 69, 239 (1996)
- R. Guersen, I. Lahiri, M. Dinu, M.R. Melloch, D.D. Nolte. Phys. Rev. B, 60, 10926 (1999)
- I. Lahiri, D.D. Nolte, J.C.P. Chang, J.M. Woodall, M.R. Melloch. Appl. Phys. Lett., 67, 1244 (1995)
- А.А. Пастор, У.В. Прохорова, П.Ю. Сердобинцев, В.В. Чалдышев, М.А. Яговкина. ФТП, 47, 8 (2013)
- I. Lahiri, D.D. Nolte, E.S. Harmon, M.R. Melloch, J.M. Woodall. Appl. Phys. Lett., 66, 2519 (1995)
- D.D. Nolte. J. Appl. Phys., 85, 6259 (1999)
- D.G. Deppe, N. Holonyak. J. Appl. Phys., 64, R93 (1988)
- N.A. Bert, V.V. Chaldyshev, Yu.G. Musikhin, A.A. Suvorova, V.V. Preobrazhenskii, M.A. Putyato, B.R. Semyagin, P. Werner. Appl. Phys. Lett., 74, 1442 (1999)
- Н.А. Берт, Ю.Г. Мусихин, В.В. Преображенский, М.А. Путято, Б.Р. Семягин, А.А. Суворова, В.В. Чалдышев, P. Werner. ФТП, 32, 769 (1998)
- V.V. Chaldyshev, N.A. Bert, Yu.G. Musikhin, A.A. Suvorova, V.V. Preobrazhenskii, M.A. Putyato, B.R. Semyagin, P. Werner, U. Gosele. Appl. Phys. Lett., 79, 1294 (2001)
- H. Bender, W. Coene, A.F.D. Jong. Ultramicroscopy, 21, 373 (1987)
- D.B. Mc Whan, R.M. Fleming, A.C. Gossard, W. Wiegmann, R.A. Logan. J. Appl. Phys., 51, 357 (1980)
- D.A. Collins, R.M. Feenstra, D.Z.Y. Ting, M.W. Wang, T.C. Mc Gill. Phys. Rev. Lett., 72, 2749 (1994)
- J. Singh, K.K. Bajaj. Appl. Phys. Lett., 47, 594 (1985)
- V.V. Chaldyshev. Mater. Sci. Eng. B, 88, 195 (2002)
- T. Tan, U. Goesele, S. Yu. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci., 17, 47 (1991).
- M. Schultz, U. Egger, R. Scholz, O. Breitenstein, U. Gosele, T.Y. Tan. J. Appl. Phys., 83, 5295 (1998)
- S. Adachi. J. Appl. Phys., 58, R1 (1985).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.