Особенности селективного роста наноколонн GaN на профилированных подложках c-сапфира различной геометрии
Семенов А.Н.1, Нечаев Д.В.1, Трошков С.И.1, Нащекин А.В.1, Брунков П.Н.1, Жмерик В.Н.1, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: semenov@beam.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.
Исследованы особенности роста наноколонн GaN на профилированных подложках c-сапфира с регулярным массивом микроконусов, имеющих различные плотность и диаметр основания в диапазонах (1-5)·107 см-2 и 2.5-3.5 мкм соответственно. Изучена кинетика и определены режимы селективного роста одиночных наноколонн GaN с диаметром 30-100 нм на вершинах микроконусов при радикально меньших скоростях роста на их боковых гранях. Исследовано влияние геометрии микроконусов, температуры подложки, шероховатости исходной поверхности и присутствия индия в качестве сурфактанта на степень селективности роста.
- Yu-Chung Chena, Bo-Wen Lina, Wen-Ching Hsuc, Yew-Chung Sermon Wua. Mater. Lett., 118, 72 (2014)
- T.V. Shubina, V.N. Jmerik, V.Yu. Davydov, D.R Kazanov, A.N. Smirnov, D.V. Nechaev, N. Kuznetsova, G. Pozina, C. Hemmingsson, S.V. Ivanov. Physica Status Solidi B, 253, 845 (2016)
- T.V. Shubina, G. Pozina, V.N. Jmerik, V.Yu. Davydov, C. Hemmingsson, A.V. Andrianov, D.R. Kazanov, S.V. Ivanov. Sci. Rep., 5, 17970 (2015)
- V.N. Jmerik, N.V. Kuznetsova, D.V. Nechaev, T.V. Shubina, D.A. Kirilenko, S.I. Troshkov, V.Yu. Davydov, A.N. Smirnov, S.V. Ivanov. J. Cryst. Growth, 477, 207 (2017)
- K. Kishino, H. Sekiguchi, A. Kikuchi. J. Cryst. Growth, 311, 2063 (2009)
- M.J. Holmes, K. Choi, S. Kako, M. Arita, Y. Arakawa. Nano Lett., 14, 982 (2014)
- S. Fernandez-Garrido, J. Grandal, E. Calleja, M.A. Sanchez-Garcia, D. Lopосez-Romero. J. Appl. Phys., 106, 126102 (2009)
- O. Landre, R. Songmuang, J. Renard, E. Bellet-Amalric, H. Renevier, B. Daudin. Appl. Phys. Lett., 93, 183109 (2008)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.