1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
 2
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия 
 3
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия 
 4
4ООО "Коннектор Оптикс", Санкт-Петербург, Россия 
 5
5Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
 6
6Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия 
 7
7АО «ОКБ-Планета», Великий Новгород, Россия 

 Email: blokh@mail.ioffe.ru, bobrov.mikh@gmail.com, bloalex91@yandex.ru, Kuzmenkov@mail.ioffe.ru, Maleev@beam.ioffe.ru, vmust.beam@mail.ioffe.ru