Вышедшие номера
Влияние акцепторной примеси бериллия на оптические свойства монокристаллического AlN
Переводная версия: 10.1134/S1063782620030148
Russian Foundation for Basic Research, № 19-02-00649
Мохов Е.Н.1, Рабчинский M.К.1, Нагалюк С.С.1, Гафуров М.Р.2, Казарова О.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань, Россия
Email: Mokhov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 октября 2019 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2020 г.

Исследовано влияние высокотемпературной (T=1880oC) диффузии ионов бериллия на свойства монокристаллического нитрида алюминия. Показано, что постростовое легирование AlN бериллием приводит к компенсации мелких донорных центров кремния, входящих в решетку AlN неконтролируемым образом в ходе роста. Установлено, что введение Be в решетку AlN приводит к снижению оптического поглощения последнего в видимом и ультрафиолетовом диапазонах. Совокупность результатов объясняется сдвигом положения уровня Ферми, вызванным введением акцепторной примеси бериллия, в сторону потолка валентной зоны AlN. Ключевые слова: AlN, примесь Ве, диффузия, оптические свойства.