Вышедшие номера
Электрически активные центры, образующиеся в кремнии в процессе высокотемпературной диффузии бора и алюминия
Соболев Н.А.1, Лошаченко А.С.2, Полоскин Д.С.1, Шек Е.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-исследовательский институт физики им. В.А. Фока Санкт-Петербургского государственного университета, Санкт-Петербург, Петергоф, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 января 2013 г.

Параметры электрически активных центров, образующихся в процессе высокотемпературной диффузии бора и алюминия в кремний в разных средах, исследовались методами Холла и емкостной спектроскопии. Установлено, что изменение удельного сопротивления в n-базе изготовленных структур с p-n-переходами контролируется образованием трех донорных уровней Q1, E4, Q3 с энергиями Ec-0.31, Ec-0.27 и Ec-0.16 эВ. После диффузии в хлорсодержащей атмосфере вводится только один уровень E4, но его концентрация меньше в 2.5 раза по сравнению с диффузией на воздухе. Значения энергии ионизации уровня Q3, измеренные в равновесных (эффект Холла) и неравновесных (емкостная спектроскопия) условиях, практически совпадают. Наиболее глубокий уровень E1 с энергией Ec-0.54 эВ, образующийся после диффузии в обеих средах, не оказывает влияния на значение удельного сопротивления в n-базе структур.