Максимальная дрейфовая скорость электронов в селективно легированных гетероструктурах InAlAs/InGaAs/InAlAs с введенной InAs-вставкой
Шиленас А.1, Пожела Ю.1, Пожела К.1, Юцене В.1, Васильевский И.С.2, Галиев Г.Б.3, Пушкарев С.C.3, Климов Е.А.3
1Институт физики полупроводников Центра физических и технологических наук, Вильнюс, Литва
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
3Институт СВЧ полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 16 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.
Исследована зависимость подвижности и дрейфовой скорости электронов от условий роста, толщины и параметров легирования InAs-вставки в центре квантовой ямы селективно легированной гетероструктуры InAlAs/InGaAs/InAlAs. Получено рекордное повышение до (2-4)·107 см/с дрейфовой скорости электронов в электрическом поле 5·103 В/см в квантовый яме InGaAs толщиной 17 нм при толщине нелегированной InAs-вставки 4 нм. Показано, что при дополнительном легировании InAs-вставки с повышением плотности электронов в квантовой яме до 4.0·1012 см-2 максимальная дрейфовая скорость достигает 2·107 см/с в поле 7·103 В/см.
- H. Zhao, Y-T. Chen, J.H. Yum, Y. Wang, F. Zhou, F. Xue, J.C. Lee. Appl. Phys. Lett., 96, 102 101 (2010)
- X. Wallart, B. Pinsard, F. Mollot. J. Appl. Phys., 97, 053 706 (2005)
- Jesus A. del Alamo. Nature, 479, 317 (2011)
- Dae-Hyun Kim, Jesus A. del Alamo. IEEE Electron. Dev. Lett., 31, 806 (2010)
- Dae-Hyun Kim, Jesus A. del Alamo. IEEE Electron. Dev. Lett., 29, 830 (2008)
- K. Pozela, A. Silenas, J. Pozela, V. Juciene, G.B. Galiev, I.S. Vasil'evskii, , E.A. Klimov. Appl. Phys. A, 109, 233 (2012)
- Ю. Пожела, К. Пожела, В. Юцене. ФТП, 41, 1093 (2007)
- K. Pozela, J. Pozela, V. Juciene, I.S. Vasil'evskii, G.B. Galiev, E.A. Klimov, A. Suziedelis, N. Zurauskiene, V. Stankevic, S. Kersulis, C. Paskevic. Acta Phys. Polon. A, 119, 170 (2011)
- V.A. Kulbachinskii, N.A. Yuzeeva, G.B. Galiev, E.A. Klimov, I.S. Vasil'evskii, R.A. Khabibullin, D.S. Ponomarev. Semicond. Sci. Technol., 27, 035 021 (2012)
- J. Pozela, K. Pozela, V. Juciene, A. Suziedelis, N. Zurauskiene, A.S. Shkolnik. Lithuanian J. Phys., 51, 270 (2011)
- Ю. Пожела, К. Пожела, Р. Рагуотис, В. Юцене. ФТП, 45, 778 (2011)
- J. Pozela, K. Pozela, V. Juciene, A. Shkolnik. Semicond. Sci. Technol., 26, 014 025 (2011).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.