Исследование радиационных эффектов в МОП-транзиcторе с p-каналом
Кузьминова А.В.
1, Куликов Н.А
1, Попов В.Д.
11Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: avkuzminova@mephi.ru, nikita93-07@bk.ru, wdpopov@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 марта 2020 г.
В окончательной редакции: 31 марта 2020 г.
Принята к печати: 31 марта 2020 г.
Выставление онлайн: 11 мая 2020 г.
Рассматривается воздействие γ-излучения на образование поверхностных дефектов на границе раздела Si-SiO2 в МОП-транзисторе с p-каналом в пассивном режиме. Наблюдалось несколько процессов поверхностного дефектообразования. Показана роль молекулярного водорода в подзатворном оксиде МОП-транзистора и "горячих" электронов, образующихся в приповерхностной области кремния. Ключевые слова: МОП-транзистор, p-канал, γ-излучение, молекулярный водород, "горячие" электроны.
- Л.В. Курносова. УФН, 52 (4), 603 (1954)
- T.R. Oldham, F.B. Mc Lean. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (3), 483 (2003)
- N.A. Kulikov, V.D. Popov. Semiconductor, 53 (1), 110 (2019)
- K.A. Petukhov, V.D. Popov. Sensors Systems., 2 (222), 53 (2018) (In Russian)
- S.T. Pandelides, S.N. Rashkeev, R. Buczko, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf. IEEE Trans. Nucl. Sci., 47, 2262 (2000)
- M.A. Bulusheva, V.D. Popov, G.A. Protopopov, A.V. Skorodumova. Semiconductors, 44 (4), 508 (2010)
- S.N. Rashkeev, C.R. Cirba, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf, S.C. Witczak, A. Michez, S.T. Pandelides. IEEE Trans. Nucl. Sci., 49 (6), 2650 (2002)
- S.N. Rashkeev, D.M. Fleetwood, R.D. Schrimpf, S.T. Pandelides. IEEE Trans. Nucl. Sci., 51 (6), 3158 (2004)
- J.R. Schwank, P.S. Winokur, P.J. Mc Whorter, F.W. Sexton, P.V. Dressendorfer, D.C. Turpin. IEEE Trans. Nucl. Sci., 31 (6), 1434 (1984)
- A.J. Lelis, T.R. Oldham, H.E. Boesh, F.B. Mc Lean. IEEE Trans. Nucl. Sci,. 31 (6), 1808 (1989)
- N.S. Saks, R.B. Klein, D.L. Griscom. IEEE Trans. Nucl. Sci., 35 (6), 1234 (1988)
- J. Mc Whorter, P.S. Winokur. Appl. Phys. Lett., 48 (2), 133 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.