Вышедшие номера
Влияние морфологии поверхности микрополосковой линии СВЧ на ее передаточные характеристики
Переводная версия: 10.1134/S1063782620110251
Торхов Н.А.1,2,3, Коколов А.А.2, Бабак Л.И.2
1Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов, Томск, Россия
2Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
3Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: trkf@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 18 мая 2020 г.
Принята к печати: 28 мая 2020 г.
Выставление онлайн: 7 августа 2020 г.

Определены основные морфологические параметры 50-омных Au/i-GaAs100 тонкопленочных микрополосковых золотых СВЧ копланарных линий передач длиной lW, влияющие на активное сопротивление их скин-слоя R и индуктивность L. Получено, что латеральный характер распределения зерен и развитый рельеф их поверхностей приводит к возникновению дополнительных процессов рассеяния электронов как на границах зерен, так и на неоднородностях рельефа. Малый размер зерен, dx<133 нм, на частотах f>10 ГГц переводит аномальный скин-эффект в нормальный. При этом нелинейная зависимость R от lW в локальном приближении обеспечивается фрактальной геометрией рельефа поверхности и приповерхностной области копланарных линий передач, а нелинейная зависимость индуктивности L от lW - не только фрактальными особенностями рельефа двухмерной поверхности копланарных линий передач, но и фрактальными особенностями трехмерного распределения ее зерен. Ключевые слова: СВЧ линии, скин-эффект, морфология поверхности, фракталы, размерность Хаусдорфа-Безиковича, S-параметры рассеяния, компактная модель, экстракция параметров.