Вышедшие номера
Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением
Калыгина В.М.1, Вишникина В.В.1, Зарубин А.Н.1, Новиков В.А.1, Петрова Ю.С.1, Толбанов О.П.1, Тяжев А.В.1, Цупий С.Ю.1, Яскевич Т.М.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 20 декабря 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2013 г.

Исследовано влияние температуры отжига на вольт-амперные, вольт-фарадные, вольт-сименсные характеристики и прозрачность пленок оксида галлия. Пленки получали термическим испарением порошка Ga2O3 с осаждением на пластины n-GaAs. Показано, что аморфные после напыления пленки кристаллизуются в результате отжига при температурах Tan≥800oC. Электрические характеристики и фотоотклик образцов V/Ni-GaAs-GaxOy-V/Ni при воздействии излучением видимого диапазона зависят от структуры и фазового состава пленок оксида галлия.