Представлены результаты исследования деформации пленок полуметаллов, создаваемой путем купольного изгиба подложки. Контроль деформации проводился методами рентгеноструктурного анализа. Показано, что метод купольного изгиба может быть использован для исследования пленок в условиях плоскостной деформации, возникающей в системе пленка-подложка вследствие различия коэффициентов температурного расширения материала пленки и подложки. Установлено, что деформация, создаваемая купольным изгибом подложки в сочетании с использованием подложек с различным температурным расширением, позволяет получить относительную плоскостную деформацию пленок висмута вплоть до 0.8% при 300 K. Ключевые слова: висмут, полуметаллы, тонкие пленки, деформация, рентгеноструктурный анализ, коэффициент температурного расширения, купольная деформация.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.