Вышедшие номера
Влияние олова на реакции, протекающие с участием межузельного углерода в облученном кремнии
Хируненко Л.И.1, Кобзарь О.А.1, Помозов Ю.В.1, Соснин М.Г.1, Трипачко Н.А.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 6 августа 2002 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2003 г.

Проведено исследование влияния легирования оловом на реакции, протекающие с участием межузельного углерода в кремнии. Показано, что Sn в кремнии является эффективным стоком для межузельного углерода, в результате чего в кремнии, легированном оловом, не наблюдается образования центров CIOI и CICS, характерных для кремния, а возникают центры CISnS. Центры CIOI и CICS образуются в Si : Sn после отжига обнаруженных комплексов CISnS. Установлено, что атомы CI могут располагаться в двух различных положениях относительно атомов олова. Проведено рассмотрение процесса радиационного дефектообразования в Si : Sn в приближении квазихимических реакций. Получены выражения для зависимостей концентраций основных радиационных дефектов от содержания олова, проведено сопоставление с экспериментальными результатами.