Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
К вопросу о модификации поверхности кремния при ее исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии
1Институт физики молекул и кристаллов Уфимского научного центра РАН, Уфа, Россия 
Поступила в редакцию: 7 февраля 2002 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2003 г.
Представлены результаты исследования методом сканирующей туннельной микроскопии на воздухе поверхности кремния с тонким слоем окисла. Показано, что туннельный ток может представлять собой суперпозицию нескольких составляющих, что позволяет говорить о регистрации не истинного изображения поверхности, а псевдорельефа. Установлены основные закономерности модификации псевдорельефа. При положительной полярности на образце формируется изображение в виде впадин, при отрицательной - в виде возвышенностей. Сделано предположение об электронной природе наблюдаемой модификации, которое подтверждается возможностью осуществления циклов "запись-стирание-запись" изображения на одном и том же участке поверхности. Обсуждается механизм модификации поверхности кремния в модели структуры диэлектрик-окисел-полупроводник, где роль диэлектрика может играть слой адсорбата.
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1, 2
- А.А. Бухараев, А.В. Назаров, В.Ю. Петухов, К.М. Салихов. Письма ЖТФ, 16, 8 (1990)
- М.С. Хайкин, А.М. Трояновский, В.С. Эдельман, В.М. Пудалов, С.Г. Семенчинский. Письма ЖЭТФ, 44, 193 (1988)
- V.V. Levenets, V.I. Beklemishev, E.P. Kirilenko, I.I. Makhonin, A.Yu. Trifonov, B.A. Loginiv, V.V. Protasenko. Jap. J. Appl. Phys., 34, 1723 (1995)
- Д.В. Вялых, С.И. Федосеенко. ФТП, 33, 708 (1999)
- M.I. Sumetskii, H.U. Baranger. Appl. Phys. Lett., 66, 1352 (1995)
- А.В. Юхневич, О.П. Лосик, В.Л. Кузнецов, А.В. Паненко. Поверхность, N 8, 95 (2001)
- J.A. Dagata, J. Schneir, H.H. Harary, C.J. Evans, M.T. Postek, J. Bennett. Phys. Lett., 56, 2001 (1990)
- Л.Н. Болотов, В.А. Козлов, И.В. Макаренко, А.Н. Титков. ФТП, 27, 1375 (1993)
- J.W. Lyding, T.-C. Shen, J.S. Hubacek, J.R. Tucker, G.C. Abeln. Appl. Phys. Lett., 64, 2010 (1994)
- J.A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, H. Yokoyama. Appl. Phys. Lett., 73, 271 (1998)
- G. Abadal, F. Perez-Murano, N. Barniol, X. Aymerich. Appl. Phys. A, 66, 791 (1998)
- Сканирующий мультимикроскоп СММ-2000Т (М., ЗАО "КПД", Технопарк МИЭТ, Зеленоград; 1997)
- С.Ю. Васильев, А.В. Денисов. ЖТФ, 70, 100 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
