Исследовано комбинационное рассеяние света на массиве ориентированных нанокристаллов кремния. Измерялась угловая зависимость интенсивности поляризованных компонент комбинационного рассеяния света и определялся параметр степени поляризации рассеянного света. Обнаружено, что степень поляризации комбинационного рассеяния света связана с размером нанокристаллов в образцах. Массив нанокристаллов имеющих одинаковую кристаллографическую ориентацию получали термическим отжигом нарушенного ионной имплантацией монокристалла кремния. При термическом отжиге образца кристалличность слоя восстанавливается не одновременно во всем нарушенном объеме, а в виде нанокристаллов, разделенных аморфными промежутками, и образованные нанокристаллы имеют преимущественно кристаллографическую ориентацию исходного монокристалла. Особенности степени поляризации комбинационного рассеяния света в нанокристаллах связаны с квантово-механической неопределенностью величины волнового вектора фонона и неопределенностью направления фонона в ограниченном объеме нанокристалла. Получены соотношения, связывающие степень поляризации комбинационного рассеяния света с размером нанокристаллов. Обсуждается возможность определения размеров нанокристаллов по измерениям степени поляризации комбинационного рассеяния света как независимого метода. Ключевые слова: комбинационное рассеяние света, кремний, нанокристаллы, ионная имплантация, отжиг, аморфная фаза.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.