Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Нелинейность пьезорезистивного эффекта в пленках поликристаллического кремния

Гридчин В.А.¹, Любимский В.М.¹

¹Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State Technical University, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 3 марта 2003 г.

Выставление онлайн: 20 января 2004 г.

PDF версия

Проведено феноменологическое описание пьезорезистивных свойств пленок поликристаллического кремния с помощью тензоров эластосопротивления и пьезосопротивления в квадратичном приближении, учитывающее симметрию пленки. Получены формулы для вычисления коэффициентов пьезосопротивления 2-го порядка поликремниевых пленок для некоторых текстур и изотропии через коэффициенты пьезосопротивления 2-го порядка монокристаллического кремния. Наблюдается удовлетворительное согласие экспериментальных и рассчитанных коэффициентов пьезосопротивления в области сильного легирования.

V. Mosser, J. Suski, J. Goss, E. Obermeir. Sensors Actuators A, 28, 113 (1991)
J. Suski, V. Mosser, J. Goss. Sensors Actuators, 17, 405 (1989)
J. Suski, V. Mosser, G. Le Roux. Electrochem. Soc. Conf. (San Diego, CA, USA, Oct. 1986) p. 331
E. Obermeir. Ph.D. Thesis (University of Munich, 1983)
P.H. French, A.G.R. Evans. Sensors Actuators, 7, 135 (1985)
D. Shubert, W. Jenschke, T. Uhlig, F.M. Schmidt. Sensors Actuators, 11, 145 (1987)
V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Sensors Actuators A, 49, 67 (1995)
P.H. French, A.G.R. Evans. Electron. Lett., 24, 999 (1984)
T. Toriyama, Y. Yokoyama, S. Sugiyama. Sensors Materials, 12, 473 (2000)
P.H. French, A.G.R. Evans. Sol. St. Electron., 32, 1 (1989)
M. Le Berre, M. Lemiti, D. Barbier, P. Pinard, J. Cali, E. Bustarret, J. Sicart, J.L. Robert. Sensors Actuators A, 46--47, 166 (1995)
Bossche, J.R. Mollinger. Sensors Actuators A, 62, 475 (1997)
В.А. Гридчин, В.М. Любимский. Микроэлектроника, 32, 261 (2003)
V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Proceedings Measurement' 97 (Smolenice, 1997) p. 74
W. Voigt. Lehrbuch der Kristallphysik (Verlag B.G. Teubner, Leipzig, 1910)
Ю.И. Сиротин, М.П. Шаскольская. Основы кристаллофизики (М., Наука 1975)
N.C.C. Lu, L. Gerzberg, C.Y. Lu, J.D. Meindl. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-28, 818 (1981)
D.M. Kim, A.N. Khondker, S.S. Ahmed, R.R. Shah. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-31, 480 (1984)
K. Matsuda, Y. Kanda, K. Yamamura, K. Suzuki. Jap. J. Appl. Phys., 29, L1941 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель