Определение механизмов протекания тока в структурах из двух слоев диэлектриков
Булярский С.В.
1, Белов В.С.
1,2, Гусаров Г.Г.
1, Лакалин А.В.1, Литвинова К.И.
1, Орлов А.П.
1
1Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
2Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", Москва, Зеленоград, Россия
Email: bulyar2954@mail.ru, belovvs@list.ru, geog1@mail.ru, a.v.lakalin@mail.ru, litkristy@gmail.com, andreyorlov@mail.ru
Поступила в редакцию: 18 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 10 марта 2023 г.
Принята к печати: 10 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 31 марта 2023 г.
Диоды металл-диэлектрик 1-диэлектрик 2-металл являются перспективными для использования в устройствах в паре с антеннами - ректеннах. Для создания диодов с требуемыми для работы характеристиками необходимо понимать механизмы переноса тока в обоих диэлектриках и их контактах с металлами. Для решения этой задачи нужно разработать алгоритм разделения общей вольт-амперной характеристики на характеристики отдельных контактов, анализ которых также позволит исследовать проблемы свойств дефектов в диэлектриках, из которых состоит диод. В данной работе представлено решение перечисленных выше задач на примере диода Al-Al2O3-Ta2O5-Ni. Авторы показали, как можно разделить вольт-амперную характеристику на составляющие, вычислить потенциальные барьеры на границах металлов с контактирующими диэлектриками, определить концентрацию и энергетические характеристики дефектов структуры в диэлектриках. Ключевые слова: диоды металл-диэлектрик-металл, вольт-амперные характеристики, эффект Пула-Френкеля, токи термоэлектронной и термополевой эмиссии, токи, ограниченные пространственным зарядом.
- S. Shriwastava, C.C. Tripathi. J. Electron. Mater., 48 (5), 2635 (2019). https://doi.org/10.1007/s11664-018-06887-9
- S. Grover, G. Moddel. IEEE J. Photovoltaics, 1 (1), 78 (2011). https://doi.org/10.1109/JPHOTOV.2011.2160489
- M. Heiblum. Solid State Electron., 24, 4 (1981). https://doi.org/10.1016/0038-1101(81)90029-0
- G. Moddel, S. Grover. Rectenna Solar Cells (Springer, 2013). https://doi.org/10.1007/978-1-4614-3716-1
- E. Donchev, J.S. Pang, P.M. Gammon, A. Centeno. MRS Energy Sustainab., 1 (1), 1 (2014). https://doi.org/10.1557/mre.2014.6
- E. Shaulov, S. Jameson, E. Socher. 2017 IEEE MTT-S Int. Microw. Symp., 307 (2017). https://doi.org/10.1109/MWSYM.2017.8059105
- M. Dragoman, M. Aldrigo. Appl. Phys. Lett., 109 (11), 113105 (2016). https://doi.org/10.1063/1.4962642
- A. Costanzo, M. Dionigi, D. Masotti, M. Mongiardo, G. Monti, L. Tarricone, R. Sorrentino. Proc. IEEE, 102 (11), 1692 (2014). https://doi.org/ 10.1109/JPROC.2014.2355261
- I. Wilke, Y. Oppliger, W. Herrmann, F. Kneubuhl. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process., 58, 329 (1994). https://doi.org/10.1007/BF00323606
- A.A. Khan, G. Jayaswal, F.A. Gahaffar, A. Shamim. Microelectron. Eng., 181, 34 (2017). https://doi.org/10.1016/j.mee.2017.07.003
- S. Joshi, G. Moddel. IEEE J. Photovoltaics, 6 (3), 668 (2016). https://doi.org/10.1109/JPHOTOV.2016.2541460
- M.N. Gadalla, M. Abdel-Rahman, A. Shamim. Sci. Rep., 4, 4270 (2014). https://doi.org/10.1038/srep04270
- E.H. Shah, B. Brown, B.A. Cola. IEEE Trans. Nanotechnology, 16 (2), 230 (2017). https://doi.org/10.1109/TNANO.2017.2656066
- G. Pacchioni, S. Valeri. Oxide Ultrathin Films (Wiley-VCH Verlag GmbH \& Co., 2012)
- F. Aydinoglu, M. Alhazmi, B. Cui, O.M. Ramahi, M. Irannejad, A. Brzezinski, M. Yavuz. Austin J. Nanomed. Nanotechnol., 1 (1), 3 (2014). https://ece.uwaterloo.ca/ bcui/ 8.814 Publication/2014%20MIM%20diode%20Ferhat%20AJNN.pdf
- A. Belkadi, A. Weerakkody, G. Moddel. Nature Commun., 12, 2925 (2021). https://doi.org/10.1038/s41467-021-23182-0
- Fu-Chien Chiu. Adv. Mater. Sci. Eng., Article ID 578168 (2014). http://doi.org/10.1155/2014/578168
- T.-H. Chiang, J.F. Wager. IEEE Trans. Electron. Dev., 65 (1), 223 (2018). http://doi.org/10.1109/TED.2017.2776612
- S. Grover, G. Moddel. Solid State Electron., 67, 94 (2012). https://doi.org/10.1016/j.sse.2011.09.004
- С.В. Булярский, О.А. Невский, Г.Е. Желяпов. ФТП, 15 (7), 1660 (1981)
- A. Rose. Phys. Rev., 97, 1538 (1955). https://doi.org/10.1103/PhysRev.97.1538
- M.A. Lampert. Phys. Rev., 103, 1648 (1956). https://doi.org/10.1103/PhysRev.103.1648
- M.A. Lampert, P. Mark. Current Injection in Solids (N. Y.-London, Academic Press, 1970)
- S. Ezhilvalavan, T.Y. Tseng. J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 10, 9 (1999). https://doi.org/10.1023/A:1008970922635
- G. Aygun, R. Turan. Thin Sol. Films, 517 (2), 994 (2008). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.07.039
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.