Вышедшие номера
Характеристики планарных диодов терагерцового диапазона частот на основе сильно легированных GaAs/AlAs-сверхрешеток
Павельев Д.Г.1, Демарина Н.В.1, Кошуринов Ю.И.1, Васильев А.П.2, Семенова Е.С.2, Жуков А.Е.2, Устинов В.М.2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Исследованы характеристики омических контактов на основе InGaAs в планарных диодах на полупроводниковых сверхрешетках с малой площадью активной области (1-10 мкм2). Диоды изготавливались на основе коротких (18 или 30 периодов) высоколегированных (1018 см-3) GaAs/AlAs-сверхрешеток с шириной минизоны 24.4 мэВ. Величина приведенного сопротивления омического контакта при комнатной температуре составила 2·10-7 Ом·см2. Показано, что свойства созданных планарных диодов позволят в дальнейшем использовать их в полупроводниковых приборах, функционирующих в терагерцовой области частот в широком диапазоне температур (4-300 K).