Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние режимов травления на морфологию и состав поверхности многослойного пористого кремния

Леньшин А.С.^1,2, Пешков Я.А.¹, Черноусова О.В.², Барков К.А.¹, Канныкин С.В.¹

¹Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия Voronezh State University, Voronezh, Russia

²Воронежский государственный университет инженерных технологий, Воронеж, Россия Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia

Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia

Email: lenshinas@mail.ru

Поступила в редакцию: 3 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 7 июля 2023 г.

Принята к печати: 30 октября 2023 г.

Выставление онлайн: 30 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

На основе данных рентгеновской рефлектометрии и ультрамягкой рентгеновской спектроскопии показана возможность управления пористостью поверхности с использованием многостадийных режимов электрохимического травления. Показано, как с ростом показателя пористости приповерхностного слоя изменяется морфология и увеличивается степень окисления образцов многослойного пористого кремния. Ключевые слова: пористый кремний, рентгеновская рефлектометрия, пористость.

L. Canham. Handbook of Porous Silicon (Springer, C.H., 2014) p. 733. DOI: 10.1007/978-3-319-05744-6
C. Pacholski. Sensors, 13, 4694 (2013). DOI: 10.3390/s130404694
R. Moretta, L. De Stefano, M. Terracciano, I. Rea. Sensors, 21, 1336 (2021). DOI: 10.3390/s21041336
L.T. Canham. Appl. Phys. Lett., 57, 1046 (1990). DOI: 10.1063/1.103561
P.V. Seredin, A.S. Lenshin, A.M. Mizerov, H. Leiste, M. Rinke. Appl. Surf. Sci., 476, 1049 (2019). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.01.239
S. Asgharizadeh, M. Sutton, K. Robbie, T. Brown. Phys. Rev. B, 79, 125405 (2009). DOI: 10.1103/PhysRevB.79.125405
M. Servidori, C. Ferrero, S. Lequien, S. Milita, A. Parisini, R. Romestain, S. Sama, S. Setzu, D. Thiaudiere. Solid State Commun., 118, 85 (2001). DOI: 10.1016/S0038-1098(01)00036-9
L.A. Balagurov, V.F. Pavlov, E.A. Petrova, G.P. Boronina. Semiconductors, 31, 815 (1997). DOI: 10.1134/1.1187259
A.S. Lenshin, A.N. Lukin, Ya.A. Peshkov, S.V. Kannykin, B.L. Agapov, P.V. Seredin, E.P. Domashevskaya. Condens. Matter Interphases, 23, 41 (2021). DOI: 10.17308/kcmf.2021.23/3300
A.S. Lenshin, Ya.A. Peshkov, M.V. Grechkina, S.V. Kannykin, Yu.A. Yurakov. J. Phys.: Conf. Ser., 1984, 012018 (2021). DOI: 10.1088/1742-6596/1984/1/012018
D. Buttard, G. Dolino, D. Bellet, T. Baumbach, F. Rieutord. Solid State Commun., 109, 1 (1998). DOI: 10.1016/S0038-1098(98)00531-6
A. Lenshin, Ya. Peshkov, K. Velichko, S. Kannykin. Int. Conf. on Information Technology and Nanotechnology (ITNT) (20-24 September 2021, Samara, Russian Federation, 1 (2021). DOI: 10.1109/ITNT52450.2021.9649173
A.S. Lenshin, V.M. Kashkarov, E.P. Domashevskaya, A.N. Bel'tyukov, F.Z. Gil'mutdinov. Appl. Surf. Sci., 359, 550 (2015)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель