Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Оптические свойства и структура пленок оксида индия, полученных при различных условиях магнетронного распыления
1Луганский государственный педагогический университет, Луганск, Россия 
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Россия
3Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Россия
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Россия
3Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Россия
Email: ea0000ffff@mail.ru, nik@donfti.ru, ksvir@list.ru, izhikharev@mail.ru
Выставление онлайн: 30 декабря 2023 г.
Обобщены результаты исследований структуры и оптических свойств серии пленок In2O3, полученных методом dc-магнетронного напыления на подложки Al2O3 (012). По данным рентгеноструктурного анализа, положение и полуширина пика, соответствующего плоскости (222) кубической модификации In2O3, зависят от времени напыления. Согласно эллипсометрическим измерениям и анализу спектров оптического пропускания, оптические свойства пленок, полученных при температуре 300oC и более, - однородны, за исключением поверхностного слоя. Показатель преломления пленок, полученных при комнатной температуре, увеличивается в направлении от подложки к внешней поверхности. Отжиг устраняет эту неоднородность, а также уменьшает наблюдаемую ширину запрещенной зоны вследствие уменьшения концентрации дефектов решетки. Истинная ширина запрещенной зоны нечувствительна к отжигу. Ключевые слова: пленки оксида индия, ширина запрещенной зоны, оптические свойства, рентгеноструктурный анализ, магнетронное напыление.
- A.A. Yousif, M.H. Hasan, J. Biosens. Bioelectron, 6, 1000192 (2015)
- J. Liu, W. Guo, F. Qu, C. Feng, C. Li, L. Zhu, J. Zhou, S. Ruan, W. Chen. Ceramics International, 40, 6685 (2014)
- A.A. Khalefa, J.M. Marei, H.A. Radwan, J.M. Rzaij. Digest J. Nanomater. Biostructures, 16, 197 (2021)
- D. Manno, M.D. Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34, 2097 (2001)
- Yu.M. Nikolaenko, A.N. Artemov, Yu.В. Medvedev, N.B. Efros, I.V. Zhikharev, I.Yu. Reshidova, A.A. Tikhii, S.V. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49, 375302 (2016)
- S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto, T. Amazawa. Jpn. J. Appl. Phys., 51, 01AC02 (2012)
- S.K. Yadav, S. Das, N. Prasad, B.K. Barick, S. Arora, D.S. Sutar, S. Dhar. J. Vacuum Sci. Technol. A, 38, 033414 (2020)
- X. Du, J. Yu, X. Xiu, Q. Sun, W. Tang, B. Man. Vacuum, 167, 1 (2019)
- M. Nistor, W. Seiler, C. Hebert, E. Matei, J. Perriere. Appl. Surf. Sci., 307, 455 (2014)
- W. Seiler, M. Nistor, C. Hebert, J. Perriere. Solar Energy Mater. Solar Cells, 116, 34 (2013)
- M.Z. Jarzebski. Phys. Status Solidi A, 71, 13 (1982)
- H. Kim, C.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86, 6451 (1999)
- M. Higuchi, S. Uekusa, R. Nakano, K. Yokogawa. J. Appl. Phys., 74, 6710 (1993)
- Y. Shigesato, S. Takaki, T. Haranoh. J. Appl. Phys., 71, 3356 (1992)
- Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (8), 115 (2010). [Yu.M. Nikolaenko, A.B. Mukhin, V.A. Chaika, V.V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 55|,(8), 1189 (2010)]
- A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: 7th Int. Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online): Abstracts (Tomsk, Publishing House of IAO SB RAS, 2020) p. 601
- А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 128 (10), 1544 (2020). [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 128 (10), 1667 (2020)]
- А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, А.С. Корнеевец, И.В. Жихарев. ФТП, 52 (3), 337 (2018). [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. Semiconductors, 52, 320 (2018)]
- V.A. Gritskikh, I.V. Zhikharev, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, T.V. Krasnyakova, Y.M. Nikolaenko, A.A. Tikhii, A.V. Pavlenko, Y.I. Yurasov. In: Advanced Materials Techniques, Physics, Mechanics and Applications [(Eds I.A. Parinov, S.-H. Chang, M.A. Jani), Springer Proceedings in Physics. V. 193 (Springer International Publishing AG., 2017) p. 55]
- A.A. Tikhii, V.A. Gritskikh, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: European Materials Research Society Spring Meeting 2016 (E-MRS 2016) (Lille, France, 2016) L.P. 32. https://www.european-mrs.com/2016-spring-symposium-l- european-materials-research-society, дата обращения: июль 2023 г.
- А.А. Тихий, Е.А. Свиридова, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. ЖПС, 88 (5), 743 (2021). [A.A. Tikhii, K.A. Svyrydova, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. J. Appl. Spectrosc., 88 (5), 975 (2021)]
- E. Kusano. Appl. Sci. Converg. Technol., 28 (6), 179 (2019)
- A. Schleife, M.D. Neumann, N. Esser, Z. Galazka, A. Gottwald, J. Nixdorf, R. Goldhahn, M. Feneberg. New J. Phys., 20, 053016 (2018)
- A. Walsh, J.L.F. Da Silva, S.-H. Wei, C. Korber, A. Klein, L.F.J. Piper, A. De Masi, K.E. Smith, G. Panaccione, P. Torelli, D.J. Payne, A. Bourlange, R.G. Egdell. Phys. Rev. Lett., 100, 167402 (2008)
- Y. Furubayashi, M. Maehara, T. Yamamoto. ACS Appl. Electron. Mater., 1, 1545 (2019)
- L. Gupta, A. Mansingh, P.K. Srivastava. Thin Sol. Films, 176, 33 (1989)
- N.M. Ravindra, P. Ganapathy, J. Choi. Infr. Phys.Technol., 50, 21 (2007).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
