Вышедшие номера
Водородсодержащие доноры в кремнии --- центры с отрицательной эффективной корреляционной энергией
Покотило Ю.М.1, Петух А.Н.1, Литвинов В.В.1, Цвырко В.Г.1
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 13 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Исследуется перестройка мелких водородсодержащих доноров в Si, которые формировались имплантацией образцов низкоэнергетическими (300 кэВ) ионами водорода с последующей термообработкой при температуре 450oC. Эксперименты проведены на диодах Шоттки Ag-Mo-Si и диодах с мелким (~1 мкм) p+-n-переходом. Концентрация и распределение доноров определялись методом C-V-характеристик на частоте 1.2 МГц. Из анализа температурной зависимости равновесной концентрации электронов установлено, что процесс перестройки водородсодержащих доноров описывается в предположении перезарядки центра с отрицательной эффективной корреляционной энергией (U<0). Трансформация между двумя равновесными конфигурациями двойного водородного донора (DB++=<ftrightarrow DA0) происходит при положении уровня Ферми EF=Ec-0.30 эВ. Обнаружена стимулированная захватом неосновных носителей заряда перестройка доноров из нейтрального в двукратно-заряженное состояние DA0-> DB++ при комнатной температуре.