Механизмы токопереноса и свойства гетероструктур a-SiC : H/c-Si
Шерченков А.А.1, Будагян Б.Г.1, Мазуров А.В.1
1Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Москва, Зеленоград, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.
Исследованы свойства гетероструктур a-SiC : H/c-Si, сформированных при различном содержании углерода в сплаве. Установлены преобладающие механизмы переноса носителей заряда в гетероструктурах. Предложены эквивалентные электрические схемы, позволяющие описать вольт-амперные характеристики гетероструктур во всем исследуемом диапазоне смещений. Оценены температурный коэффициент изменения ширины запрещенной зоны и сродство к электрону для a-SiC : H.
- C.-K. Jung, D.-C. Lim, H.-G. Jee, M.-G. Park, S.-J. Ku, K.-S. Yu, B. Hong, S.-B. Lee, J.-H. Boo. Surf. Coat. Technol., 171, 46 (2003)
- H. Gleskova, S. Wagner. Appl. Surf. Sci., 175--176, 12 (2001)
- H. Matsuura, T. Okuno, H. Okushi, K. Nanaka. J. Appl. Phys., 55 (4), 1012 (1984)
- А.А. Шерченков, Б.Г. Будагян, А.В. Мазуров. Преспективные матер., N 3, 24 (2003)
- H. Mimura, Y. Hatanaka. Appl. Phys. Lett., 45, 452 (1984)
- H. Matsuura. Jap. J. Appl. Phys., 27, L 513 (1988)
- L.F. Marsal, J. Pallares, X. Correig, J. Calderer, R. Alcubilla. J. Appl. Phys., 79 (11), 8493 (1996)
- Morimoto, T. Miura, M. Kumeda, T. Shimizu. Jap. J. Appl. Phys., 21, L.2 (1982)
- М. Ламперт, П. Марк. Инжекционные токи в твердых телах (М., Мир, 1973)
- Б.Г. Будагян, А.А. Шерченков, А.Е. Бердников, А.В. Бирюков, Г.Л. Горбулин. Матер. Х Межд. симп. Тонкие пленки в электронике (Ярославль, 20--25 сентября 1999) ч. 2, с. 238
- Аморфный кремний и родственные материалы, под ред. Х. Фрицше (М., Мир, 1991)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1. [Пер. с англ.: S.M. Sze. Physics of Semiconductor Devices, 2-nd edition (Wiley Interscience Publication John Wiley \& Sons, N. Y.--Chichester--Brisbane--Toronto--Singapore, 1981) v. 1]
- К.В. Шалимова. Физика полупроводников (М., Энергоиздат, 1985)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук