Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Детектирование парамагнитных центров рекомбинации на поверхности пластин кремния
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: Leovlas@solid.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 20 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 20 июня 2024 г.
Принята к печати: 5 июля 2024 г.
Выставление онлайн: 6 сентября 2024 г.
Методами спин-зависимой рекомбинации и детектирования резонансного изменения микроволновой фотопроводимости исследованы спектры электронного парамагнитного резонанса центров, возникающих на поверхности пластин кремния с ориентацией (111), (110) и (100) после их естественного окисления на воздухе. Установлены основные закономерности поведения спектров парамагнитного резонанса в различных экспериментальных условиях, таких, как температура, интенсивность освещения, мощность микроволнового резонансного поля. Показано, что основными центрами спин-зависимой рекомбинации являются оборванные связи атомов кремния, локализованные на границе Si/SiO2 на поверхностях (111) и (110), и пары оборванных связей на поверхности (100). Ключевые слова: кремний, поверхность, спин-зависимая рекомбинация, электронный парамагнитный резонанс.
- P.M. Lenahan, M.A. Jupina. Colloid. Surf., 45, 191 (1990)
- M. Lannoo. Revue Phys. Appl., 25, 887 (1990)
- P.M. Lenahan, J.F. Conley, jr. J. Vac. Sci. Technol. B, 16 (4), 2134 (1998)
- C.R. Helms, E.H. Pointdexter. Rep. Progr. Phys., 57, 791 (1994)
- E.H. Poindexter, P.J. Caplan, B.E. Deal, R.R. Razouk. J. Appl. Phys., 52 (2), 879 (1981)
- K.L. Brower. Semicond. Sci. Technol., 4, 970 (1989)
- K.L. Brower. Phys. Rev. B, 33 (7), 4471 (1986)
- K.L. Brower. Phys. Rev. B, 38 (14), 9657 (1988)
- A. Stesmans, V.V. Afanas'ev. J. Appl. Phys., 83 (5), 2449 (1998)
- Л.С. Власенко, M.П. Власенко, В.Н. Ломасов, В.А. Храмцов. ЖЭТФ, 91, 1037 (1986)
- Л.С. Власенко. ФТТ, 41 (5), 774 (1999)
- L.S. Vlasenko. Appl. Magn. Reson., 47, 813 (2016)
- Л.С. Власенко, М.П. Власенко, В.А. Козлов, В.В. Козловский. ФТП, 33 (10), 1164 (1999)
- D. P. Franke, M. Otsuka, T. Matsuoka, L. S. Vlasenko, M.P. Vlasenko, M.S. Brandt, K.M. Itoh. Appl. Phys. Lett., 105, 112111 (2014)
- P.A. Mortemouque, T. Sekiguchi, C. Culan, M.P. Vlasenko, R.G. Elliman, L.S. Vlasenko, K.M. Itoh. Appl. Phys. Lett., 101, 082409 (2012)
- H. Saito, S. Hayashi, Y. Kusano, K.M. Itoh, M.P. Vlasenko, L.S. Vlasenko. J. Appl. Phys., 123, 161582 (2018)
- Elias B. Frantz, Nicholas J. Harmon, David J. Michalak, Eric M. Henry, Michael E. Flatte, Sean W. King, James S. Clarke, Patrick M. Lenahan. J. Appl. Phys., 130, 234401 (2021)
- Kenneth J. Myers, Patrick M. Lenahan, James P. Ashton, Jason T. Ryan. J. Appl. Phys., 132, 115301 (2022)
- C.J. Cochrane, P.M. Lenahan. J. Appl. Phys., 112, 123714 (2012)
- Corey J. Cochrane, Jordana Blacksberg, Mark A. Anders, Patrick M. Lenahan. Sci. Reports, 6, 37077 (2016)
- Hesham Okeil, Gerhard Wachutka. Appl. Phys. Lett., 124, 192101 (2024)
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. Конденсированные среды и межфазные границы, 24 (4), 407 (2022)
- M.A. Anders, P.M. Lenahan, C.J. Cochrane, Johan van Tol. J. Appl. Phys., 124, 215105 (2018)
- Л.С. Власенко, И.С. Федосов. Письма ЖТФ, 50 (9), 3 (2024)
- G. Bemski. J. Appl. Phys., 30 (8), 1195 (1959)
- K.L. Brower. Phys. Rev. B, 4 (6), 1968 (1971)
- Т.А. Пагава, Н.И. Майсурадзе, М.Г. Беридзе. ФТП, 45 (5), 582 (2011)
- M. Morita, T. Ohmi, E. Hasegawa, M. Kawakami, M. Ohwada. J. Appl. Phys., 68 (3), 1272 (1990)
- Дж. Вертц, Дж. Болтон. Теория и практические приложения метода ЭПР (М., Мир, 1975) гл. 10
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
