Предложен способ комбинированного нанесения прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, заключающийся в последовательном осаждении материала методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения на горячую подложку. Исследованы структурные особенности и оптические характеристики получаемых пленок. Рассматриваемый способ позволяет модифицировать плотность покрытия, а следовательно, профиль его эффективного показателя преломления. Контролируемое увеличение удельной поверхности пленок, достигаемое за счет роста нанокристаллов на второй стадии нанесения пленок, может быть востребовано в ряде новых приборов, например сенсорах. Ключевые слова: оксид индия и олова, ITO, наноструктурированная пленка, прозрачные проводящие оксиды, нанонити.