Вышедшие номера
Модификация структуры нанокристаллических пленок оксида индия и олова
Марков Л.К. 1, Смирнова И.П. 1, Павлюченко А.С. 1, Яговкина М.А. 1, Аксенова В.В.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2АО "СКТБ Кольцова", Санкт-Петербург, Россия
Email: l.markov@mail.ioffe.ru, irina@quantum.ioffe.ru, A.S.Pavluchenko@mail.ioffe.ru, ymasha@mail.ioffe.ru, valeriyaakse@gmail.com
Поступила в редакцию: 18 июня 2024 г.
В окончательной редакции: 14 августа 2024 г.
Принята к печати: 14 августа 2024 г.
Выставление онлайн: 8 октября 2024 г.

Предложен способ комбинированного нанесения прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова, заключающийся в последовательном осаждении материала методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения на горячую подложку. Исследованы структурные особенности и оптические характеристики получаемых пленок. Рассматриваемый способ позволяет модифицировать плотность покрытия, а следовательно, профиль его эффективного показателя преломления. Контролируемое увеличение удельной поверхности пленок, достигаемое за счет роста нанокристаллов на второй стадии нанесения пленок, может быть востребовано в ряде новых приборов, например сенсорах. Ключевые слова: оксид индия и олова, ITO, наноструктурированная пленка, прозрачные проводящие оксиды, нанонити.