Оптимизация переключения мемристорных структур на основе HfOx с использованием электронно-лучевого воздействия
Российский научный фонд, 24-19-00650
Залялов Т.М.
1,2, Воронковский В.А.
1, Герасимова А.К.
1, Исламов Д.Р.
1,21Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
![Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia](/images/e16.png)
Email: timz@isp.nsc.ru, voronkovskii@isp.nsc.ru, gerasimova@isp.nsc.ru, damir@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 5 декабря 2024 г.
В окончательной редакции: 6 декабря 2024 г.
Принята к печати: 6 декабря 2024 г.
Выставление онлайн: 7 января 2025 г.
Исследованы электрофизические свойства мемристоров на основе HfOx (x~1.8), подвергнутого облучению электронным лучом в области, сопоставимой по размерам поперечному сечению филамента. Проведено сравнение этих свойств с мемристорами аналогичной структуры, изготовленными без использования локального электронно-лучевого воздействия на слой оксида гафния. Показано, что такое воздействие приводит к уменьшению амплитуды и разброса напряжений переключения состояний мемристора. Изучен транспорт заряда обоих типов мемристоров и обсуждается природа наблюдаемых отличий. Ключевые слова: оксид гафния, мемристор, электронный луч, сканирующий электронный микроскоп, ток, ограниченный пространственным зарядом.
- Q. Liu, J. Sun, H. Lv, Sh. Long, K. Yin, N. Wan, Y. Li, L. Sun, M. Liu. Adv. Mater., 24 (14), 1844 (2012)
- F. Miao, J.P. Strachan, J.J. Yang, M.-X. Zhang, I. Goldfarb, A.C. Torrezan, P. Eschbach, R.D. Kelley, G. Medeiros-Ribeiro, R.S. Williams. Adv. Mater., 23 (47), 5633 (2011)
- V. Ravi, S. Singh, S. Sofana Reka. Trans. Emerging Telecom. Techn., 32 (1), e4143 (2021)
- L. Michalas, S. Stathopoulos, A. Khiat, T. Prodromakis. Appl. Phys. Lett., 113 (14), 143503 (2018)
- E. Wu, T. Ando, Y. Kim, R. Muralidhar, E. Cartier, P. Jamison, M. Wang, V. Narayanan. Appl. Phys. Lett., 116 (8), 082901 (2020)
- В.А. Воронковский, А.К. Герасимова, В.Ш. Алиев. Письма ЖЭТФ, 117 (7), 550 (2023)
- V.A. Voronkovskii, V.S. Aliev, A.K. Gerasimova, D.R. Islamov. Mater. Res. Express, 5 (1), 016402 (2018)
- V.A. Voronkovskii, V.S. Aliev, A.K. Gerasimova, D.R. Islamov. Mater. Res. Express, 6 (7), 076411 (2019)
- H.-L. Hwang, Y.-K. Chiou, C.-H. Chang, C.-C. Wang, K.-Y. Lee, T.-B. Wu, R. Kwo, M. Hong, K.-S. Chang-Liao, C.-Y. Lu, C.-C. Lu, F.-C. Chiu, C.-H. Chen,J. Y.-M. Lee, A. Chin. Appl. Surf. Sci., 254 (1), 236 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.