Оптимизация переключения мемристорных структур на основе HfOx с использованием электронно-лучевого воздействия
Российский научный фонд, 24-19-00650
Залялов Т.М.
1,2, Воронковский В.А.
1, Герасимова А.К.
1, Исламов Д.Р.
1,21Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: timz@isp.nsc.ru, voronkovskii@isp.nsc.ru, gerasimova@isp.nsc.ru, damir@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 5 декабря 2024 г.
В окончательной редакции: 6 декабря 2024 г.
Принята к печати: 6 декабря 2024 г.
Выставление онлайн: 7 января 2025 г.
Исследованы электрофизические свойства мемристоров на основе HfOx (x~1.8), подвергнутого облучению электронным лучом в области, сопоставимой по размерам поперечному сечению филамента. Проведено сравнение этих свойств с мемристорами аналогичной структуры, изготовленными без использования локального электронно-лучевого воздействия на слой оксида гафния. Показано, что такое воздействие приводит к уменьшению амплитуды и разброса напряжений переключения состояний мемристора. Изучен транспорт заряда обоих типов мемристоров и обсуждается природа наблюдаемых отличий. Ключевые слова: оксид гафния, мемристор, электронный луч, сканирующий электронный микроскоп, ток, ограниченный пространственным зарядом.
- Q. Liu, J. Sun, H. Lv, Sh. Long, K. Yin, N. Wan, Y. Li, L. Sun, M. Liu. Adv. Mater., 24 (14), 1844 (2012)
- F. Miao, J.P. Strachan, J.J. Yang, M.-X. Zhang, I. Goldfarb, A.C. Torrezan, P. Eschbach, R.D. Kelley, G. Medeiros-Ribeiro, R.S. Williams. Adv. Mater., 23 (47), 5633 (2011)
- V. Ravi, S. Singh, S. Sofana Reka. Trans. Emerging Telecom. Techn., 32 (1), e4143 (2021)
- L. Michalas, S. Stathopoulos, A. Khiat, T. Prodromakis. Appl. Phys. Lett., 113 (14), 143503 (2018)
- E. Wu, T. Ando, Y. Kim, R. Muralidhar, E. Cartier, P. Jamison, M. Wang, V. Narayanan. Appl. Phys. Lett., 116 (8), 082901 (2020)
- В.А. Воронковский, А.К. Герасимова, В.Ш. Алиев. Письма ЖЭТФ, 117 (7), 550 (2023)
- V.A. Voronkovskii, V.S. Aliev, A.K. Gerasimova, D.R. Islamov. Mater. Res. Express, 5 (1), 016402 (2018)
- V.A. Voronkovskii, V.S. Aliev, A.K. Gerasimova, D.R. Islamov. Mater. Res. Express, 6 (7), 076411 (2019)
- H.-L. Hwang, Y.-K. Chiou, C.-H. Chang, C.-C. Wang, K.-Y. Lee, T.-B. Wu, R. Kwo, M. Hong, K.-S. Chang-Liao, C.-Y. Lu, C.-C. Lu, F.-C. Chiu, C.-H. Chen,J. Y.-M. Lee, A. Chin. Appl. Surf. Sci., 254 (1), 236 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.