Исследование влияния ультразвукового воздействия на генерационные характеристики предварительно облученной границы раздела кремний--диоксид кремния
Парчинский П.Б.1, Власов С.И.1, Лигай Л.Г.1
1Национальный университет Узбекистана (НУУз), Ташкент, Узбекистан
Поступила в редакцию: 9 июня 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2006 г.
При помощи метода релаксации неравновесной емкости структуры металл-окисел-полупроводник изучено влияние ультразвукового воздействия на генерационные параметры границы раздела Si-SiO2, облученной gamma-квантами. Обнаружено уменьшение генерационного времени жизни под влиянием ультразвуковой обработки. Показано, что в облученных и необлученных структурах изменение генерационных параметров под влиянием ультразвука носит существенно различный характер. PACS: 73.40.Qv, 73.20.Hb, 61.80.Ed, 73.50.Gr
- В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС (М., Энергоатомиздат, 1988)
- Ю.С. Чистов, В.Ф. Сыноров. Физика МДП-структур (Воронеж, Изд-во ВГУ, 1986)
- В.Я. Киблик, Р.О. Литвинов, В.Г. Литовченко, Н.М. Литвиненко. Укр. физ. журн., 22, 1097 (1977)
- С.З. Зайнабидинов, Ш.Х. Йулчиев, П.Б. Парчинский. Узб. физ. журн., 3, 201 (2001)
- П.Б. Парчинский, С.И. Власов, Р.А. Муминов, Х.Х. Исмаилов, У.Т. Тургунов. Письма ЖТФ, 26 (10), 40 (2000)
- И.В. Островский, Л.П. Стебленко, А.Б. Надточий. ФТП, 34, 257 (2000)
- Е.Ю. Брайловский, А.П. Здебский, В.Л. Корчная, Г.Н. Семенова, М.Я. Скороход, Ю.А. Тихорин, Л.С. Хазан, М.К. Шейкман. Письма ЖТФ, 13, 1310 (1987)
- И.В. Островский, Л.П. Стебленко, А.Б. Надточий. ФТТ, 42 (3), 478 (2000)
- J.S. Kang, D.K. Schroder. Phys. Status Solidi A, 89, 13 (1985)
- Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (Л., Наука, 1981)
- В.Г. Литовченко, А.П. Горбань. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник (Киев, Наук. думка, 1978)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
- П.Б. Парчинский, С.И. Власов, Л.Г. Лигай, О.Ю. Щукина. Письма ЖТФ, 29 (9), 83 (2003)
- M. Zerbst. Z. Angew. Phys., 22, 3039 (1966)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
