Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние смещения электронно-дырочного равновесия на процесс диффузии переходных металлов в GaAs
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия 
Поступила в редакцию: 6 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.
Исследована диффузия примесей переходных элементов Fe, Cu и Cr в сильно легированном p+-, n+- и собственном (при температуре диффузии) GaAs. Использована методика, по которой диффузия примеси осуществляется в структуры на основе GaAs с сильно легированными слоями (p+-n или n+-n). Показано, что коэффициент диффузии примеси в p+-GaAs существенно выше, а в n+-GaAs ниже, чем в i-GaAs. Полученные результаты обсуждаются на основе представлений о влиянии смещения электронно-дырочного равновесия в полупроводнике на процесс диффузии примесей, мигрирующих по диссоциативному механизму. Определена концентрация межузельной компоненты примесей Fe, Cu и Cr в GaAs при температуре диффузии. PACS: 68.35.Fx, 66.30.Jt
- С.С. Хлудков. Вестн. Томск. гос. ун-та. Сер. Физика, N 285, 84 (2005)
- О.П. Толбанов. Вестн. Томск. гос. ун-та. Сер. Физика, N 285, 155 (2005)
- С.С. Хлудков, Н.В. Чалдышева. Изв. вузов. Физика, 25 (5), 115 (1982)
- A.S. Grove, O. Leistiko, Jr., C.T. Sah. J. Phys. Chem. Sol., 25, 985 (1964)
- С.С. Хлудков, О.Б. Корецкая, А.В. Тяжев. ФТП, 38 (3), 274 (2004)
- Э.М. Омельяновский, В.И. Фистуль. Примеси переходных металлов в полупроводниках (М., Металлургия, 1983)
- В.Ф. Мастеров. Изв. вузов. Физика, 26 (10), 45 (1983)
- R.H. Hall, J.H. Raccete. J. Appl. Phys., 35, 379 (1964)
- Б.И. Болтакс, Г.С. Куликов, И.Н. Никулина, Ф.С. Шишияну. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 11 (2), 348 (1975)
- В.Б. Освенский, Т.Г. Югова. Особенности поведения меди в арсениде галлия. Обзор литературы (М., Гиредмет, 1970)
- W. Shockley, J.L. Moll. Phys. Rev., 119, 1480 (1960)
- Г.Л. Приходько, Л.К. Тарасова, С.С. Хлудков. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 14, 1378 (1978)
- Г.А. Бабченко, А.И. Гордиенко, Г.А. Захарова, С.В. Малянов, С.С. Хлудков. Изв. вузов. Физика, 28 (4), 97 (1985)
- И.В. Каменская, М.А. Кривов, В.С. Морозов, Э.Н. Мельченко, М.А. Никифорова, Е.А. Попова, С.С. Хлудков. Изв. вузов. Физика, 22 (7), 1979 (93)
- М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский, Т.Г. Югова. ФТТ, 11 (11), 3276 (1969)
- С.С. Хлудков, Л.К. Тарасова. ФТТ, 16 (5), 1319 (1974)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
