Сканирующая кельвин-зонд-микроскопия утечки дырок из активной области работающего инжекционного полупроводникового лазерного диода
Анкудинов А.В.1, Евтихиев В.П.1, Ладутенко К.С.1, Титков А.Н.1, Laiho R.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Wihuri Physical Laboratory, Turku University, FIN Turku, Finland
Поступила в редакцию: 22 декабря 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.
Предложен метод на основе сканирующей кельвин-зонд-микроскопии, позволяющий прямое наблюдение и количественную характеризацию утечки носителей тока из активной области работающих полупроводниковых светодиодов и лазеров. С помощью разработанного метода на поверхности зеркал мощных InGaAs/AlGaAs/GaAs-лазерных диодов выявлены неосновные дырки, появляющиеся из активной области и растекающиеся на участки поверхности над n-эмиттером и n-подложкой. Показано, что перемещение дырок по поверхностным каналам, сформированным областями приповерхностного изгиба зон, может происходить на десятки микрон от места их первоначального появления на поверхности. Показано, что с подъемом тока инжекции величина утечки плавно нарастает, а после достижения лазерной генерации ее рост прекращается. PACS: 07.79.-v, 42.55.Px, 73.40.Kp.
- M. Nonemacher, M.P. O'Boyle, H.K. Wickmarmasing. Appl. Phys. Lett., 58, 2091 (1991)
- G. Binning, Ch. Gerber, E. Stell, T.R. Quake. Europhys. Lett., 3, 1281 (1987)
- P. Girard. Nanotechnology, 12, 485 (2001)
- A.V. Ankudinov, V.P. Evtikhiev, E.Yu. Kotelnikov, A.N. Titkov, R. Laiho. J. Appl. Phys., 93, 432 (2003)
- Е.Ю. Котельников, А.А. Кацнельсон, И.В. Кудряшов, М.Г. Растегаева, В. Рихтер, В.П. Евтихиев, И.С. Тарасов, Ж.И. Алферов. ФТП, 34, 1394 (2000)
- D.W. Winston, R.E. Hayes. IEEE J. Quant. Electron., 34, 707 (1998)
- http://www.ntmdt.ru
- H.O. Jacobs, P. Leuchtmann, O.J. Homan, A. Stemmer. J. Appl. Phys., 84, 1168 (1998)
- А.В. Анкудинов, В.П. Евтихиев, В.Е. Токранов, В.П. Улин, А.Н. Титков. ФТП, 33, 594 (1999)
- I. Suemune, M. Hoshiyama. Jap. J. Appl. Phys., 33, Pt 1, 3748 (1994); G. Bratina, L. Vanzetti, A. Franciosi. Phys. Rev. B, 52, R8625 (1995); A.V. Ankudonov, A.N. Titkov, T.V. Shubina, S.V. Ivanov, P.S. Kop'ev, H.-J. Lugauer, G. Reuscher, M. Keim, A. Waag, G. Landwehr. Appl. Phys. Lett., 75, 2626 (1999)
- S.A. Wood, P.M. Smowton, C.H. Molloy, P. Blood, D.J. Somerford, C.C. Button. Appl. Phys. Lett., 74, 2540 (1999)
- G.H. Buh, J.J. Kopanski. Appl. Phys. Lett., 83, 2486 (2003)
- M.W.J. Prins, R. Jansen, R.H.M. Groeneveld, A.P. van Gelder, H. van Kempen. Phys. Rev. B, 53, 8090 (1996)
- L. Kronik, Y. Shapira. Surf. Sci. Rep., 37, 1 (1999)
- C.M. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984). [S.M. Sze. Physics of Semiconductor Devices (Wiley, N. Y., 1981)]
- H.C. Casey, Jr., B.I. Miller, E. Pinkas. J. Appl. Phys., 44, 1281 (1973); C.J. Hwang. J. Appl. Phys., 42, 4408 (1971)
- M. Tottonese, R.C. Barret, C.F. Quate. Appl. Phys. Lett., 62, 834 (1993); W.H.J. Rensen, N.F. van Hulst, A.G.T. Ruiter, P.E. West. Appl. Phys. Lett., 75, 1640 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.