Simulation of the fluctuations of energy and charge deposited during e-beam exposure
Borisov S.S.1, Zaitsev S.I.2, Grachev E.A.1
1M.V. Lomonosov Moscow State University, Physical Department, Moscow, Russia
2Institute of Problems of Microelectronic Technology, Chernogolovka, Moscow region, Russia
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.
Energy and charge deposition process's stochastic nature is examined, using a model based on the discrete loss approximation (DLA). Deposited energy deviations computed using continuous slowing down approximation (CSDA) and DLA are compared. It's shown that CSDA underestimates deposited energy fluctuations. PACS: 81.15.Jj, 61.80.Fe
- S.S. Borisov, E.A. Grachev, S.I. Zaitsev. Proc. SPIE, 5398, 144 (2004)
- L. Landau. J. Phys. (USSR), 8, 201 (1944)
- M. Gryzinski. Phys. Rev., 138, A336 (1965)
- C. Moeller. Ann. Physik, 14, 531 (1932)
- M.S. Chung, T.E. Everhart. Phys. Rev. B, 15, 4699 (1977)
- T. Koshikava, R. Shimizu. J. Phys. D., 6, 1369 (1973)
- M.P. Seah, W.A. Dench. Surf. Interface Analysis, 1, 2 (1979)
- S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn. Surf. Interface Analysis, 17, 911, 927 (1991); Surf. Interface Analysis, 21, 165 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук