Формирование наночастиц на поверхности кремния под действием фемтосекундных лазерных импульсов
Заботнов С.В.1, Ежов А.А.1, Головань Л.А.1, Ластовкина М.А.1, Панов В.И.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 5 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.
При облучении поверхности монокристаллического кремния фемтосекундными лазерными импульсами на ней были сформированы наночастицы. Их высота по данным атомно-силовой микроскопии составляет от 2 до 30 нм, поперечный размер - от 70 до 200 нм. PACS: 61.46.Df, 61.80.Ba, 68.37.Ps, 81.07.Bc, 81.16.Mk
- F. Korte, J. Serbin, J. Koch, A. Egbert, C. Fallinich, A. Ostendorf, B.N. Chichkov. Appl. Phys. A, 77, 229 (2003)
- M. Meunier, B. Fissete, A. Houle, A.V. Kabashin, S.V. Broude, P. Miller. Proc. SPIE, 4978, 169 (2003)
- P.P. Pronko, S.K. Dutta, J. Squier, J.V. Rudd, D. Du, G. Mourou. Opt. Commun., 114, 106 (1995)
- J. Bonse, S. Baudach, J. Kruger, W. Kautek, M. Lenzner. Appl. Phys. A, 74, 19 (2002)
- Silicon Photonics, ed. by D.J. Lockwood, L. Pavesi (Berlin, Springer Berlin/Heidelberg, 2004)
- J. Bonse, K.-W. Brzezinka, A.J. Meixner. Appl. Surf. Sci., 221, 215 (2004)
- C.H. Crouch, J.E. Carey, M. Shen, E. Mazur, F.Y. Genin. Appl. Phys. A, 79, 1635 (2004)
- С.В. Заботнов, Л.А. Головань, И.А. Остапенко, Ю.В. Рябчиков, А.В. Червяков, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров, В.В. Яковлев. Письма ЖЭТФ, 83 (2), 76 (2006)
- С.В. Заботнов, И.А. Остапенко, Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров, Г.Д. Шандыбина. Квант. электрон., 35, 943 (2005)
- Ю.И. Петров. Физика малых частиц (М., Наука, 1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
