Вышедшие номера
Глубокие уровни и электронный транспорт в гетероструктурах AlGaN/GaN
Антонова И.В.1, Поляков В.И.2, Руковишников А.И.2, Мансуров В.Г.1, Журавлев К.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.

На основе измерений вольт-амперных, вольт-фарадных характеристик и спектроскопии глубоких уровней проведено сравнение концентрации центров с глубокими уровнями и проводимости канала гетероструктур AlGaN/GaN, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии с использованием аммиака в качестве источника азота. Обнаружены два типа центров с глубокими уровнями, одни из которых предположительно связаны с точечными дефектами, локализованными вблизи дислокаций, а вторые собственно с дислокациями. Увеличение концентрации центров с глубокими уровнями коррелирует с увеличением удельного сопротивления канала. Плотность центров с глубокими уровнями может достигать значений ~1013 см-2 и приводить к компенсации электронного канала на гетерогранице. PACS: 73.20.Hb, 73.40.Lq, 73.61.Ey