Кинетика резистивного отклика тонких пленок SnO2-x в газовой среде
Рябцев С.В.1, Юкиш А.В.1, Ханго С.И.1, Юраков Ю.А.1, Шапошник А.В.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 13 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.
Получены данные о газовой чувствительности тонких пленок SnO2-x в среде кислорода и водорода. Пленки были изготовлены окислением на воздухе слоев металлического олова при различных температурах. Немонотонная кинетика резистивного отклика образцов SnO2-x в условиях газовой адсорбции объяснена участием во взаимодействии адсорбент-полупроводник "биографических" электронных состояний (определяемых технологией изготовления и обработки образцов), плотность которых зависит от температурного режима получения SnO2-x. PACS: 68.47.Fg, 68.35.Fx, 68.43.Pg
- К.П. Богданов, Д.П. Дмитров, О.Ф. Луцкая, Ю.М. Таиров. ФТП, 32 (10), 1158 (1998)
- S. Samson, C.G. Fonstad. J. Appl. Phys., 44 (10), 4618 (1973)
- C.G. Fonstad, R.H. Rediker. J. Appl. Phys., 42 (7), 2911 (1971)
- J. Mizusaki, H. Koinuma, J. Shimoyama, M. Kawasaki, K. Fueki. J. Sol. St. Chem., 88, 443 (1990)
- C. Ang, Z. Yu, L.E. Cross. Phys. Rev. B, 62 (1), 228 (2000)
- L.A. Kappers, K.L. Sweeney, L.E. Halliburton, J.H.W. Liaw. Phys. Rev. B, 31 (10), 6792 (1985)
- R. Gonzalez, G.P. Summers, Y. Chen. Phys. Rev. B, 30 (4), 2112 (1984)
- R. Tohmon, H. Mizuno, Y. Ohki, K. Sasagane, K. Nagasawa, Y. Hama. Phys. Rev. B, 39 (2), 1337 (1989)
- Э.П. Домашевская, С.В. Рябцев, Е.А. Тутов, Ю.А. Юраков, О.А. Чувенкова, А.Н. Лукин. Письма ЖТФ, 32 (18), 7 (2006)
- Э.П. Домашевская, Ю.А. Юраков, А.Н. Лукин, С.В. Рябцев, О.А. Чувенкова, С.Б. Кущев, С.В. Каныкин, С.Г. Конников. Изв. вузов, сер. Материалы электронной техники, N 1, 52 (2006)
- Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
- W. Gopel. Progr. Surf. Sci., 20, 9 (1985)
- С.Н. Козлов. Изв. вузов, сер. Физика, N 4, 116 (1975)
- В.Я. Сухарев, И.А. Мясников. ЖФХ, 60, 3016 (1986)
- И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов, С.А. Завьялов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.