Вышедшие номера
Влияние интенсивности торможения ионов на дефектообразование при имплантации в нанокристаллы кремния
Качурин Г.А.1, Черкова С.Г.1, Марин Д.В.1, Гутаковский А.К.1, Черков А.Г.1, Володин В.А.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 14 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2008 г.

Исследовано действие облучения ионами He+, F+ и P+ разных энергий на фотолюминесценцию и структуру нанокристаллов Si. Установлено, что при малых интенсивностях торможения ионов гашение фотолюминесценции обеспечивается единичными атомными смещениями. Однако с ростом интенсивности гашение сопровождается увеличением ядерных потерь. Считается, что в разреженных каскадах смещений подвижные дефекты преимущественно стекают к поверхности, где образуют центры безызлучательной рекомбинации. В плотных же каскадах они частично формируют стабильные структурные нарушения внутри нанокристаллов. Для аморфизации нанокристаллов Si при 20oC достаточно накопить ~0.06 dpa, причем зависимости от интенсивности торможения ионов здесь не обнаружено. Отмечена малая вероятность аннигиляции вакансий и междоузлий внутри нанокристаллов Si, объясняемая наличием энергетического барьера. PACS: 61.46.Hk, 61.80.Jh, 61.72.Tt, 78.55Ap, 81.40.Wx