Вышедшие номера
Диффузия имплантированного натрия в кислородном кремнии
Король В.М.1, Веденяпин С.А.1, Заставной А.В.1, Ovchinnikov V.2
1Научно-исследовательский институт физики, Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия
2Micro and Nanofabrication Centre, Helsinki University of Technology, Helsinki, Finland
Поступила в редакцию: 12 ноября 2007 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2008 г.

Впервые изучено влияние кислорода на диффузию имплантированного в кремний натрия в интервале температур 500-850oC. Применялся высокоомный p-Si (rho>1 кОм·см), выращенный методом Чохральского в магнитном поле (mCz) с концентрацией кислорода ~3·1017 см-3. Для сравнения использовался кремний, полученный бестигельной зонной плавкой (fz). Найденные в них температурные зависимости эффективного коэффициента диффузии натрия имеют вид: DmCz[см2/с]=1.12exp(-1.64 эВ/kT) и Dfz[см2/с]=0.024exp(-1.29 эВ/kT) соответственно. Предполагается, что более высокие значения диффузионных параметров в кислородном кремнии обусловлены образованием сложных комплексов, содержащих в своем составе атомы натрия и кислорода. PACS: 61.72.Tt; 66.30.Jt; 85.40.Ry