Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Диффузия имплантированного натрия в кислородном кремнии

Король В.М.¹, Веденяпин С.А.¹, Заставной А.В.¹, Ovchinnikov V.²

¹Научно-исследовательский институт физики, Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия Southern Federal University, Research Institute of Physics, Rostov-on-Don, Russia

Southern Federal University, Research Institute of Physics, Rostov-on-Don, Russia

²Micro and Nanofabrication Centre, Helsinki University of Technology, Helsinki, Finland

Поступила в редакцию: 12 ноября 2007 г.

Выставление онлайн: 20 августа 2008 г.

PDF версия

Впервые изучено влияние кислорода на диффузию имплантированного в кремний натрия в интервале температур 500-850^oC. Применялся высокоомный p-Si (rho>1 кОм·см), выращенный методом Чохральского в магнитном поле (mCz) с концентрацией кислорода ~3·10¹⁷ см^-3. Для сравнения использовался кремний, полученный бестигельной зонной плавкой (fz). Найденные в них температурные зависимости эффективного коэффициента диффузии натрия имеют вид: D_mCz[см²/с]=1.12exp(-1.64 эВ/kT) и D_fz[см²/с]=0.024exp(-1.29 эВ/kT) соответственно. Предполагается, что более высокие значения диффузионных параметров в кислородном кремнии обусловлены образованием сложных комплексов, содержащих в своем составе атомы натрия и кислорода. PACS: 61.72.Tt; 66.30.Jt; 85.40.Ry

V.M. Korol'. Phys. Status Solidi A, 110, 9 (1988)
В.М. Король, А.В. Заставной, М.Н. Беликова. ФТП, 9, 1222 (1975) (депонир. в ЦНИИ "Электроника", ДЭ-1244/74)
А.В. Заставной, В.М. Король, А.Н. Михалева, В.Д. Прозоровский. ФТП, 13, 995 (1979)
Б.И. Болтакс. Диффузия в полупроводниках (М., Физматгиз, 1961) гл. 4, 4, с. 133
W.M. Gibson et al. Can. J. Phys. 46, 765 (1968)
А.В. Заставной, В.М. Король, П.Б. Орлов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исследования, 8, 70 (1999)
А.В. Заставной, В.М. Король, Е.И. Устинова. ФТП, 17, 1696 (1983)
А.В. Заставной, В.М. Король. ФТП, 19, 1284 (1985)
A.V. Zastavnoy, V.M. Korol'. Phys. Status Solidi A, 113, 227 (1989)
E. Frertwurst, J. Adey, A. Al-Ajili et al. Nucl. Instrum Meth. A, 552, 7 (2005)
C.A. Londos, M.R. Binns, A.R. Brown et al. Appl. Phys. Lett., 62, 1525 (1993)
В.М. Король, А.В. Заставной. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исследования, 5, 74 (2001)
М.Н. Беликова, А.В. Заставной, В.М. Король. ФТП, 10, 535 (1976)
E.M. Pell. Phys. Rev., 119, 1222 (1960)
E.M. Pell. J. Appl. Phys., 32, 1048 (1961)
V. Milman, M.C. Payne, V. Heine et al. Phys. Rev. Lett., 70, 2928 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель