Анализ прямых вольт-амперных характеристик неидеальных барьеров Шоттки Ti/4H-SiC
Иванов П.А.1, Потапов А.С.1, Самсонова Т.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 апреля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 января 2009 г.
Проанализированы прямые вольт-амперные характеристики неидеальных контактов Шоттки Ti/4H-SiC с коэффициентом неидеальности на экспоненциальном участке характеристик n=1.1-1.2. Неидеальность рассматривается как следствие образования тонкого диэлектрического слоя между напыленным титаном и 4H-SiC. По измеренным вольт-амперным характеристикам определены электрофизические параметры контактов - высота энергетического барьера, толщина промежуточного диэлектрического слоя, распределение плотности состояний по энергиям на границе раздела диэлектрик/полупроводник. PACS: 73.30.+y, 73.40.Ei, 73.40.Ns
- R.F. Schmitsdorf, T.U. Kampen, W. Monch. J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 1221 (1997)
- R. Perez, N. Mestres, J. Montserrat, D. Tournier, P. Godignon. Phys. Status Solidi A, 202, 692 (2005)
- D. Defives, O. Noblanc, C. Dua, C. Brylinski, M. Barhula, V. Aubry-Fortuna, F. Meyer. IEEE Trans. Electron. Dev., 46, 449 (1999)
- B.J. Skromme, E. Luckowski, K. Moore, M. Bhatnagar, C.E. Weitzel, T. Gehoski, D. Ganser. J. Electron. Mater., 29, 376 (2000)
- H.C. Card, E.H. Rhoderick. J. Phys. D: Appl. Phys., 4, 1602 (1971)
- K. Hattori, T. Yamasaki, Y. Uraoka, T. Fujii. J. Appl. Phys., 54, 7020 (1983)
- М.Б. Шалимова, Н.В. Щербакова. Письма ЖТФ, 31, 27 (2005)
- И.В. Грехов, П.А. Иванов, Н.Д. Ильинская, О.И. Коньков, А.С. Потапов. Т.П. Самсонова. ФТП, 42, 211 (2008)
- В.А. Гуртов. Твердотельная электроника. Учебное пособие (Петрозаводск, ПетрГУ, 2004) гл. 3, с. 108
- D. Stephani, R. Schoerner, D. Peters, P. Friedrichs. Mater. Sci. Forum, 527--529, 1147 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.