Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Моделирование деградации рельефа нанопористого кремния в процессе отжига в неоднородном температурном поле
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия 
Поступила в редакцию: 22 января 2007 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.
Представлены результаты моделирования процессов термического отжига пористого кремния под действием высокотемпературного нагрева как в однородном температуром поле, так и в условиях наличия в системе линейного градиента температур. PACS: 61.43.Gt, 82.20.Wt, 81.05.Rm, 81.40.Ef, 05.10.Ln, 07.05.Tp
- А.В. Зверев, И.Г. Неизвестный, Н.Л. Шварц, З.Ш. Яновицкая. ФТП, 35, 1067 (2001)
- B.M. Kostishko, A.V. Zolotov, Sh.R. Atazhanov. Phys. Low-Dim. Structur. 3/4, 1 (2004)
- J.M. McCoy, P.A. Maksym. Semicond. Sci. Technol., 6, 141 (1991)
- S. Kersulis, V. Mitin. Semicond. Sci. Technol., 10, 653 (1995)
- А.М. Орлов, Б.М. Костишко, А.А. Скворцов. Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (Ульяновск, Изд-во УлГУ, 2001)
- A.C. Levi, M. Kotra. J. Phys.: Condens. Matter, 9, 299 (1997)
- W. Jian, Z. Kaiming, X. Xide. J. Phys.: Condens. Matter, 6, 989 (1994)
- N. Ott, M. Nerdng, G. Muller, R. Brendel, H.P. Strunk. Phys. Status Solidi A, 197 (1), 93 (2003)
- N. Ott, M. Nerding. J. Appl. Phys., 95 (2), 497 (2004)
- V.Yu. Timoshenko, Th. Dittrich, I. Sieber. Phys. Status Solidi A, 182, 325 (2000)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
