Вышедшие номера
Оптические и структурные характеристики пленок оксида цинка, легированных галлием
Новодворский О.А.1, Горбатенко Л.С.1, Панченко В.Я.1, Храмова О.Д.1, Черебыло Е.А.1, Венцель К.2, Барта Й.В.2, Бублик В.Т.3, Щербачев К.Д.3
1Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, Шатура, Россия
2Институт полупроводниковой и микросистемной технологии, Университет технологии, Дрезден, Германия
3Московский государственный институт стали и сплавов (Технологический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 2 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.

Методом импульсного лазерного осаждения на монокристаллических подложках сапфира (0001) получены пленки ZnO n-типа проводимости, легированные галлием до 2.5 ат%. Определены зависимости пропускания пленок ZnO в спектральном диапазоне от 200 до 3200 нм от концентрации примеси галлия. Установлено, что увеличение концентрации примеси галлия смещает границу фундаментальной полосы поглощения в синюю область, но снижает прозрачность пленок ZnO в инфракрасной области спектра. Определена зависимость ширины запрещенной зоны ZnO от уровня легирования галлием. Получены спектры фотолюминесценции пленок ZnO с различным уровнем легирования. Установлена немонотонная зависимость интенсивности и положения максимума фотолюминесценции от уровня легирования. Проведены рентгеноструктурные исследования пленок. Установлена зависимость кристаллографических параметров (постоянной решетки c) пленки ZnO от концентрации примеси галлия и условий процесса напыления. PACS: 68.55.Ln, 78.55.Hx, 78.67.-n, 81.15.Fg