Физическая модель процесса старения МОП-структуры
Булушева М.А.1, Попов В.Д.1, Протопопов Г.А.1, Скородумова А.В.1
1Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 31 августа 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.
Представлена физическая модель процесса старения МОП-структуры. По результатам проведенных ускоренных испытаний найден энергетический параметр напряженной МОП-структуры - энергетический уровень напряженных связей.
- В.Д. Попов, Н.М. Ройзин. Микроэлектроника, 1 (6), 552 (1973)
- J.R. Schwank, D.M. Fleetwood, P.S. Winokur, P.V. Dressendorfer, D.C. Turpin, D.T. Sanders. IEEE Trans. Nucl. Sci., NS-34, N 6, 1152 (1987)
- В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС (М., Энергоатомиздат, 1988)
- В.И. Эннс, Ю.М. Кобзев. Проектирование аналоговых КМОП-микросхем. Краткий справочник разработчика (М., Горячая линия--телеком, 2005)
- Д.А. Барышников, Г.А. Жукова, В.Н. Мордкович. Электрон. техн., сер. 2, Полупроводниковые приборы, N 5 (148), 19 (1981)
- В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроводников (М., Наука, 1967)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984)
- У. Харрисон. Электронная структура и свойства твердых тел (М., Мир, 1983) т. 1
- В.А. Болисов, Л.Н. Патрикеев, В.Д. Попов. Микроэлектроника, 12 (5), 477 (1983)
- Б.М. Яворский, А.А. Детлаф. Справочник по физике (М., Наука, 1977) с. 269
- P.J. McWhorter, P.S. Winokur. Appl. Phys. Lett., 48 (2), (1), 133 (1986)
- М.М. Малышев, В.Д. Попов, В.Н. Сурин, Д.В. Шубин. В сб.: Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру (М., ФГУП ЦНИИатоминформ, 2007) вып. 3--4, 33 (2007)
- Л.Н. Патрикеев, Б.И. Подлепецкий, В.Д. Попов. Радиационная стойкость полупроводниковых приборов и интегральных схем (М., МИФИ, 1975)
- E.H. Snow, A.S. Grove, D.F. Fitzgerald. Proc. IEEE, 55 (7), 1168 (1967)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук