Природа прямых и обратных токов насыщения в контактах металл-полупроводник с барьером Шоттки
Поступила в редакцию: 20 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.
Сильная зависимость токов насыщения прямых и обратных вольт-амперных характеристик высокобарьерных (>0.6 В) контактов металл-полупроводник с барьером Шоттки от их диаметра D определяется встроенным и сонаправленным с собственным электрическим полем контакта дополнительным электрическим полем, которое образуется под влиянием периферии контакта. Это поле препятствует движению электронов через контакт при подаче на него прямого смещения. Увеличение диаметра контактов от 5 до 700 мкм приводит к уменьшению различия прямых и обратных токов насыщения с пяти порядков практически до нуля. Увеличение диаметра контакта, таким образом, приводит к уменьшению влияния периферии и уменьшению абсолютного значения встроенного электрического поля. Уменьшение высоты барьера (=<q0.6 В для D=5 мкм) также приводит практически к полному совпадению прямых и обратных токов насыщения. На обратных ветвях вольт-амперных характеристик влияние встроенного поля проявляется в значительном уменьшении эффективной высоты потенциального барьера вследствие уменьшения его ширины вблизи вершины и значительного увеличения полевой эмиссии электронов через барьер при более низких значениях энергии. На прямых ветвях это проявляется практически в полном отсутствии прямых токов при малых смещениях.
- W.O. Barnard, G. Myburg, F.D. Auret, S.A. Goodman, W.E. Meyer. J. Electron. Mater., 25 (11), 1695 (1996)
- S.J. Eglash, M. Newman, S. Pan, W.E. Spicer, D.M. Collins, M.P. Zurakowski. IEEE IEDM, 83, 119 (1983)
- S.J. Eglash, M. Newman, S. Pan, D. Mo, K. Shenal, W.E. Spicer, F.A. Ponce, D.M. Collins. J. Appl. Phys., 81 (11), 5158 (1987)
- В.И. Шашкин, А.В. Мурель, В.М. Данильцев, О.И. Хрыкин. ФТП, 36 (5), 537 (2002)
- В.Г. Божков, С.Е. Зайцев. Изв. вузов. Радиофизика, 47 (9), 769 (2004)
- Н.А. Торхов. Деп. в ВИНИТИ N 334-D2008 от 18.04.2008
- Н.А. Торхов, В.Г. Божков, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. Поверхность, N 11, 1 (2009)
- Н.А. Торхов. ФТП, 44 (5), 615 (2009)
- Р.К. Мамедов. Контакты металл--полупроводник с электрическим полем пятен (Баку, БГУ, 2003)
- H.O. Jacobs, P. Leuchtmann, O.J. Homan, A. Stemmer. J. Appl. Phys., 84 (3), 1168 (1998)
- В.Г. Божков, Н.А. Торхов, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 42 (5), 546 (2008)
- А.В. Анкудинов, В.П. Евтихиев, К.С. Ладутенко, А.Н. Титков, R. Laiho. ФТП, 40 (8), 1009 (2006)
- Н.М. Коровкина. Автореф. канд. дис. (СПб. гос. электротехнический ун-т "ЛЭТИ", 2006)
- В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Н. Новгород, Ин-т физики микроструктур РАН, 2004)
- Н.А. Торхов. Поверхность, N 1, 1 (2010)
- Н.А. Торхов, В.Г. Божков, И.В. Ивонин, В.А. Новиков. ФТП, 43 (1), 38 (2009)
- Н.А. Торхов. Тр 19 Межд. Крымской конф. "СВЧ техника и телекоммуникационные технологии", "КрыМико-2009" (Украина, Севастополь, 2009) с. 544
- R.T. Tung. Phys. Rev. B, 45 (23), 13 509 (1992)
- G. Myburg, F.D. Auret. Appl. Phys. Lett., 60 (5), 604 (1992)
- M. Biber, O. Gullu, S. Forment, R.L. Van Meirhaeghe, A. Turut. Semicond. Sci. Technol., 21, 1 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.