Структурные и оптические свойства InAlN/GaN распределенных брегговских отражателей
Усов С.О.1,2, Заварин Е.Е.1,2, Цацульников А.Ф.1,2, Лундин В.В.1,2, Сахаров А.В.1,2, Николаев А.Е.1,2, Синицын М.А.1,3, Крыжановская Н.В.1, Трошков С.И.1, Леденцов Н.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский физико-технологический научно-образовательный центр Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Выставление онлайн: 19 июня 2010 г.
Проведено исследование структурных и оптических свойств InAlN/GaN распределенных брегговских отражателей, выращенных методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений на сапфировых подложках. Исследовано влияние режимов роста и толщин слоев InAlN на структурные свойства распределенных брегговских отражателей. Показано, что оптимизация режимов эпитаксиального роста позволяет создавать InAlN/GaN распределенные брегговские отражатели с коэффициентом отражения более 99% и максимумом отражения в диапазоне длин волн 460-610 нм.
- F. Calle, F.B. Naranjo, S. Fernandez, M.A. Sanchez-Garcia, E. Calleja, E. Munoz. Phys. Status Solidi A, 192, 277 (2002)
- Y. Yang, G.A. Turnbull, I.D.W. Samuel. Appl. Phys. Lett., 92, 163 306 (2008)
- R. de Mierry, J.M. Bethoux, H.P.D. Schenk, M. Vaille, E. Feltin, B. Beamount, M. Leroux, S. Dalmasso, P. Gibart. Phys. Status Solidi B, 242, 2326 (2005)
- O. Mitrofanov, S. Schmult, M.J. Manfra, T. Siegrist, N.G. Weimann, A.M. Sergent, R.J. Molnar. Appl. Phys. Lett., 88, 171 101 (2006)
- W.V. Lundin. Proc Eur. Workshop on Metalorganic Vapor Phase Epitaxy (EW-MOVPE) XIII (Ulm, Germany, 2009)
- Ammon Yariv, Pochi Yeh. J. Opt. Soc. Amer., 67, 438 (1977)
- J. Off, F. Scholz, E. Fehrenbacher, O. Gfro\`Erer, A. Hangleiter, G. Brockt, H. Lakner. Phys. Status Solidi B, 216, 529 (1999)
- J.E. Northrup, J. Neugebauer. Phys. Rev. B, 60, R8473 (1999)
- Pochi Yeh, Ammon Yariv, Chi-Shain Hong. J. Opt. Soc. Amer., 67, 423 (1977)
- H.A. Macleod. Thin-Film Optical Filters. 3rd edn. (Bristol, UK, Institute of Physics Publishing, 2001)
- Dong Xue Wang, Ian T. Ferguson, John A. Buck. Appl. Optics, 46, 4763 (2007)
- J.-F. Carlin, P. Royo, R.P. Stanley, R. Houdre, J. Spicher, U. Oesterle, M. I1egems, I. Vurgaftman, J.R. Meyer, L.R. Ram-Mohan. J. Appl. Phys., 89, 5815 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
