Вышедшие номера
Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения
Бабаев А.А.1, Султанов С.Б.1, Абдулвагабов М.Ш.2, Теруков Е.И.3
1Институт физики Дагестанского научного центра Российской академии наук, Махачкала, Россия
2Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Исследованы энергия активации проводимости на постоянном токе, показатель преломления, микротвердость аморфных гидрогенизированных углеродных пленок a-C:H. Пленки были получены из метан-аргоновой смеси при различных условиях осаждения на кварцевые и кремниевые подложки: E/p=40-180 В/мПа (E - напряженность электрического поля между электродами, p - давление газовой смеси в камере), температура подложки Ts=50-300oC. Эти условия осаждения позволяют получать алмазоподобные, полимероподобные, графитоподобные пленки a-C:H, в которых энергия активации проводимости, микротвердость и показатель преломления меняются в значительных пределах.