Особенности слоев аморфного кремния, полученных методом стимулированного плазмой осаждения из газовой фазы, содержащей четырехфтористый кремний
Вайнштейн Ю.С.1, Коньков О.И.1, Кукин А.В.1, Ельцина О.С.1, Беляков Л.В.1, Теруков Е.И.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.
Слои гидрогенизированного аморфного кремния с кристаллическими наночастицами получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы с добавлением тетрафторсилана в газовую смесь. Исследована кинетика фотолюминесценции слоев и фотоэлектрические свойства структур на их основе. Структуры характеризуются значительной эффективностью фотоответа в видимой области спектра, причем положение максимума спектра фотоответа зависит от приложенного смещения.
- A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82 (3), 909 (1997)
- S.V. Chernyshov, E.I. Terukov, V.A. Vassilyev, A.S. Volkov. J. Non-Cryst. Sol., 134, 218 (1991)
- A. Hadded-Adel, T. Inokuma, Y. Kurata, S. Hasegava. Surf. Sci., 601, 1429 (2007)
- T. Nagahara, K. Fujimoto, N. Kohno, K. Kashiwagi, H. Kakinoki. Jpn. J. Appl. Phys., 31, 4555 (1992)
- M. Lozurdo, M.M. Giangregorio, A. Sacchetti, P. Capezzuto, G. Bruno, J. C\`arabe, J.J. Gand\`i a, L. Urbina. J. Non-Cryst. Sol., 352, 906 (2006)
- П.Г. Сенников, С.В. Голубев, В.И. Шашкин, Д.А. Пряхин, М.Н. Дроздов, Б.А. Андреев, Ю.Н. Дроздов, А.С. Кузнецов, Х.-Й. Поль. Письма ЖЭТФ, 89 (2), 86 (2009)
- C. Delerue, G. Allan, M. Lannoo. J. Luminesc. 80, 65 (1999)
- V. Osinniy, S. Lesgaard, V. Kolkovsky, V. Pankratov, A. Nylandsted Larsen. Nanotechnology, 20 (19), 195 201 (2009)
- D. Timmerman, I. Izeddin, P. Stallinga, I.N. Yassievich, T. Gregorkiewicz. Nature Photonics, 2, 105 (2008)
- O.M. Sreeseli, O.S. El'tsina, L.V. Belyakov, D.N. Gorychev. Appl. Phys. Lett., 95, 031 914 (2009)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.