Получение слоев нанокомпозита por-Si/SnOx для газовых микро- и наносенсоров
Болотов В.В.1, Корусенко П.М.1, Несов С.Н.1, Поворознюк С.Н.1, Росликов В.Е.1, Курдюкова Е.А.1, Стенькин Ю.А.1, Шелягин Р.В.1, Князев Е.В.1, Кан В.Е.1, Пономарева И.В.1
1Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Омск, Россия
Поступила в редакцию: 18 октября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.
Слои гетерофазных нанокомпозитов, основанных на пористом кремнии и нестехиометрическом оксиде олова, получены различными методами. Структура, элементный и фазовый состав полученных нанокомпозитов исследованы с помощью просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света, электронной оже-спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Полученные данные подтверждают формирование нанокомпозитных слоев с толщиной до 2 мкм и коэффициентом стехиометрии SnOx x=1.0-2.0. При термообработках 770 K наблюдалась значительная диффузия олова в матрицу пористого кремния с Deff~ 10-14 см2/c. Тестовые сенсорные структуры, сформированные на основе слоев нанокомпозита por-Si/SnOx, полученных с использованием магнетронного напыления, показали достаточно высокую стабильность свойств и чувствительность к NO2.
- Y.X. Liang, Y.J. Chen, T.H. Wang. Appl. Phys. Lett., 85 (4), 666 (2004)
- R. Angelucci, A. Poggi, L. Dori, G.C. Cardinali, A. Parisini, A. Tagliani, M. Mariasaldi, F. Cavani. Sensors Actuators A, 74, 95 (1999)
- C. Cobianu, C. Savaniu, O. Buiu, D. Dascalu, M. Zaharescu, C. Parlog, A. van den Berg, B. Pecz. Sensors Actuators B, 43, 114 (1997)
- U. Gruning, A. Yelon. Thin Sol. Films, 255, 135 (1995)
- S. Borini. J. Appl. Phys., 102, 093 709 (2007)
- G. Amato, L. Boarino, F. Bellotti. Appl. Phys. Lett., 85, 4409 (2004)
- Z. Gaburro, C.J. Oton, L. Pavesi, L. Pancheri. Appl. Phys. Lett., 84, 4388 (2004)
- H. Meixner, U. Lampe. Sensors Actuators B, 33, 198 (1996)
- K. Kalantar-zadeh, B. Fry. Nanotechnology-Enabled Sensors (Springer Science + Business Media, 2008)
- В.В. Болотов, Ю.А. Стенькин, Н.А. Давлеткильдеев, О.В. Кривозубов, И.В. Пономарева. ФТП, 43, 100 (2009)
- В.В. Болотов, Ю.А. Стенькин, В.Е. Росликов, В.Е. Кан, И.В. Пономарева, С.Н. Несов. ФТП, 43, 957 (2009)
- L.E. Davis, N.C. MacDonald, P.W. Palmberg, G.E. Riach, R.E. Weber. Handbook of Auger electron spectroscopy (Minnesota, PEI, 1986) p. 8
- C.D. Wagner, W.M. Riggs, L.E. Davis, J.F. Moulder, G.E. Mullenberg. Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy (Minnesota, PEI, 1986) p. 10
- Д. Бриггс, М.П. Сих. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (М., Мир, 1987)
- G.E. Buono-Core, G.A. Cabello, H. Espinoza, A.H. Klahn, M. Tejos, R.H. Hill. J. Chil. Chem. Soc., 51, 950 (2006)
- G. Hoflund, D. Asbury. Thin Sol. Films, 129, 139 (1985)
- S.H. Park, Y.C. Son, W.S. Willis, S.L. Suib, K.E. Creasy. Chem. Mater., 10, 2389 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
