Вышедшие номера
Особенности молекулярно-пучковой эпитаксии и структурные свойства гетероструктур на основе AlInSb
Семенов А.Н.1, Мельцер Б.Я.1, Соловьев В.А.1, Комиссарова Т.А.1, Ситникова А.А.1, Кириленко Д.А.1, Надточий А.М.1, Попова Т.В.1, Копьев П.С.1, Иванов С.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2011 г.

Сообщается о получении методом молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ) и исследовании in situ с использованием дифракции отраженных быстрых электронов и ex situ методами растровой и просвечивающей микроскопии (ПЭМ и РЭМ) слоев AlInSb, выращенных на сильно рассогласованных подложках GaAs (100). Обнаружено, что особенностью гетеросистемы AlInSb/GaAs является высокая вероятность образования дефектов двойникования, и предложены способы снижения их концентрации. Для инициализации роста AlInSb на подложках GaAs в условиях гигантского рассогласования периодов решеток (~14.5%) и быстрого перехода к двумерному росту использовалась поверхность слоя GaAs, предварительно выдержанная под потоком сурьмы, и переходный буферный слой AlSb. Оптимизация начальных стадий МПЭ роста Sb-содержащих слоев на поверхности GaAs позволила более чем на 2 порядка понизить плотность дефектов в GaAs/AlInSb-структурах, в том числе радикально уменьшить концентрацию дефектов двойникования. Определены оптимальные условия МПЭ роста слоев AlxIn1-xSb в широком диапазоне составов (0<x<0.3). Проведенные исследования методами ПЭМ и РЭМ подтвердили высокое структурное качество выращенных GaAs/AlInSb-гетероструктур. Измерения эффекта Холла выявили зависимость подвижности и концентрации носителей заряда от содержания алюминия в слоях AlInSb и позволили сделать предварительный вывод о механизмах рассеяния.