Вышедшие номера
Перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний при высокотемпературном протонном облучении
Афонин Н.Н.1, Логачева В.А.1, Ховив А.М.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 17 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2011 г.

Исследовано перераспределение компонентов в системе ниобий-кремний в процессе магнетронного распыления ниобия, вакуумного отжига и высокотемпературного протонного облучения. Установлено, что в ходе магнетронного распыления и последующего вакуумного отжига кремний проникает через пленку металла на ее внешнюю границу. При высокотемпературном протонном облучении наблюдается подавление диффузии ниобия в кремний, что объясняется наличием высокой концентрации радиационных вакансий в области межфазной границы Nb/Si.