Вышедшие номера
Исследования морфологических особенностей роста и оптических характеристик многослойных образцов пористого кремния, выращенных на подложках n-типа с эпитаксиально нанесенным p+-слоем
Леньшин А.С.1, Кашкаров В.М.1, Середин П.В.1, Минаков Д.А.1, Агапов Б.Л.1, Кузнецова М.А.2, Мошников В.А.2, Домашевская Э.П.2
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 31 января 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.

Исследованы особенности роста многослойного пористого кремния со слоями различной пористости, полученного электрохимическим травлением на пластине монокристаллического кремния n-типа (111) с эпитаксиально сформированным на поверхности p+-слоем. Установлена возможность получения многослойной системы упорядоченных пор различного размера в рамках одного технологического цикла и показаны различия в оптических характеристиках отдельных слоев полученной структуры.