Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Электронная оже-спектроскопия и спектроскопия анизотропного отражения монослойных нитридных пленок на поверхностях (001) кристаллов GaAs и GaSb
Берковиц В.Л.1, Гордеева А.Б.1, Львова Т.В.1, Улин В.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 25 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2012 г.
Методами электронной оже-спектроскопии и спектроскопии анизотропного отражения исследовались монослойные пленки нитрида галлия, сформированные на поверхности (001)GaAs путем химической нитридизации в гидразин-сульфидных растворах. Обнаружено, что оже-сигнал азота N KLL в нитридной пленке сдвинут в сторону больших кинетических энергий на ~17.2 эВ по сравнению с аналогичным сигналом для объемного кристалла GaN. Наблюдаемый сдвиг обусловлен спецификой конфигурации валентных орбиталей атомов азота, терминирующих нитридизованную поверхность (001)GaAs. У этих атомов одна из валентных орбиталей не образует химической связи и занята неподеленной парой электронов. Предложенная конфигурация подтверждается результатами анализа спектров анизотропного отражения нитридизованной поверхности (001)GaAs. Впервые выполнены опыты по химической нитридизации поверхности GaSb. Оже-спектры нитридизованной поверхности (001)GaSb оказываются подобны спектрам нитридизованной поверхности (001)GaAs. Это свидетельствует об аналогичном характере химических процессов на этих поверхностях и формировании монослойной нитридной пленки на поверхности GaSb.
- Y. Bu, M.C. Lin. Surf Sci., 317, 152 (1994)
- V.L. Berkovits, V.P. Ulin, M. Losurdo, P. Capezzuto, G. Bruno, G. Perna, V. Capozzi. Appl. Phys. Lett., 80, 3739 (2002)
- V.L. Berkovits, V.P. Ulin, O.E. Tereshchenko, D. Paget, A.C. Rowe, P. Chiaradia, B.P. Doyle, S. Nannarone. J. Electrochem. Soc., 158, D127 (2011)
- V.L. Berkovits, D. Paget, A.N. Karpenko, V.P. Ulin, O.E. Tereshchenko. Appl. Phys. Lett., 90, 022 105 (2007)
- В.Л. Берковиц, Т.В. Львова, В.П. Улин. ФТП, 45, 1637 (2011)
- V.L. Berkovits, L. Masson, I.V. Makarenko, V.P Ulin. Appl. Surf. Sci., 254, 8023 (2008)
- P. Weightman, D.S. Martin, R.J. Cole, T. Farrel. Rep. Progr. Phys., 68, 1251 (2005)
- В.Л. Берковиц, А.Б. Гордеева, В.А. Кособукин. ФТТ, 43 (6), 985 (2001)
- В.Л. Берковиц, В.Н. Бессолов, Т.В. Львова, Е.Б. Новиков, В.И. Сафаров, Р.В. Хасиева, Б.В. Царенков. ФТТ, 25, 1406 (1991)
- V.L. Berkovits, A.N. Karpenko, L. Masson, V.P. Ulin. J. de Physique IV (Proceedings), 132, 263 (2006)
- R.V. Berghe, R. Vlaemnick. Surf. Interface Anal., 10, 316 (1987)
- V.L. Berkovits, A.B. Gordeeva, V.A. Kosobukin. Sol. St. Commun., 119, 657 (2001)
- V.L. Berkovits, A.B. Gordeeva, V.A. Kosobukin. Phys. Status Solidi B, 247, 1932 (2010)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
