Приведены экспериментальные результаты по исследованию явления самовосстановления структуры имплантируемых слоев кремния и теллурида кадмия. Получены зависимости интенсивности света, отраженного от имплантируемой поверхности, и дозы аморфизации от температуры и интенсивности облучения, массы ионов и их типа (легирующая примесь или неактивная). Предложена феноменологическая модель, объясняющая полученные результаты.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.