Условия получения, структура и свойства гидрированных пленок аморфного углерода
Лигачев В.А.1, Попов А.И.1, Стукач С.Н.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
Приведены результаты исследований гидрированных пленок углерода (C:H). Пленки получены методом высокочастотного ионно-плазменного распыления графитовой мишени в атмосфере газовой смеси аргон-водород. Результаты исследований оптических свойств в диапазоне энергий фотонов 1.3-6.0 эВ и электрических свойств в переменном поле с частотой 100 Гц-35 МГц интерпретировались на основе данных электронно-микроскопических исследований, показавших существенную неоднородность пленок. Предполагается, что формирование неоднородностей с различными характерными размерами обусловлено кинетикой поведения различных комплексов на поверхности растущих пленок. Сопоставляются результаты анализа компонентного состава пленок, полученные из оптических измерений и методом электронной микроскопии. Обнаружено, что изменение условий приготовления пленок C:H ведет к изменению соотношения в материале алмазоподобного, графитоподобного компонентов и ''соединительной ткани'' полимерного типа.
- H. Tsai, D.B. Bogy. J. Vac. Sci. Technol. A, 5, 3287 (1987)
- Л.И. Татаринова. \it Электронография аморфных веществ (М., Наука, 1972)
- А.А. Данченков, В.А. Лигачев, А.И. Попов. ФТП, \bf 27, 1233 (1993)
- А.С. Гороховатский, Г.А. Бородовский. \it Термоактивационная токовая спектроскопия высокоомных полупроводников и диэлектриков (М., Наука, 1991)
- А.В. Раков. \it Спектофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур (М., Сов. радио, 1975)
- Е.Н. Понарина. Автореф. канд. дис. (М., МГУ, 1992)
- I. Webman, H. Jortner, M.N. Coher. Phys. Rev. B, \bf 15, 5713 (1977)
- F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
- R.A. Roberts, W.C. Walker. Phys. Rev., 161, 730 (1967)
- E.T. Arakawa, M.W. William, T. Inagaki. J. Appl. Phys., \bf 48, 3176 (1977)
- L.R. Painter, E.T. Arakawa, M.W. William, J.C. Ashley. Rad. Res., \bf 83, 1 (1980)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.